Компенсатор для контроля формы асферических поверхностей

(51)5 С 01 М 11(О 3 1"0 ЯУДА Ы; , :.Б. НИЯ О/31-1088 иБюл, ) б . Э. Баумана в, Н,Л. Лаэ чков 15. 2 ское 088. 8)видетельство ССС 01 М 11/00, 1978 РМЬ КОНТРОЛЯСТЕЙ я к оптичесических зер интерфероля. Цель функ цион асф аль ния ение чет обес Я,п ГОСУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(21) 4376 (22) 11. О (46) 15,0 (71) МВТУ (72) Л,т, и М,А. Тур (53) 531. (56) Авто ) 746232,(54) КОМПЕНСАТОР ЛЛЯ АСФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХН (57) Изобретение отн кому контролю формы кал и м,б, испольэов метрических схемах к изобретения - расшир ных возможностей эа контроля выпуклых поверхностей и расширение диапазона параметров контрол руемых поверхностей. Гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А преобразуется плосковогнутой линзой 1 и положительным мениском 2 в негомоцентрический, лучи которого являются нормалями к теоретически точной поверхности 3 зеркала. После отражения от реальной поверхности 3 зеркала лучи снова проходят мениск 2 и линзу 1, Отличие выходного пучка от идеального гомоцентрического характеризует степень отклонения поверхности 3 от теФ оретически точной поверхности и регистрируется в схеме лазерного интерферометра. Относительное отверстие контролируемых зеркал до 1:0,25, 1 ил154327 б Формула изобретения Корректор И, Муска В. Архиповык Заказ 395 Тираж 440 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж"35, Раушская наб д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для контроля формы выпуклых асферических поверхностей вращения.Цель изобретения - расширение функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и рашсирение диапазона параметров кОнтролируемых поверхностей, 10На чертеже изображена принципиальная схема компенсатора.Компен сатор содержит, плоско-вогнутую линзу, положительную менисковую линзу 2 и контролируемую поверхность 15 3. Буквой А обозначена вершина гомоцентрического пучка лучей; 8 - расстояние от точки А до первой поверхости компенсатора; С 0 - центр кривизны при вершине асферической по-20 ерхности; С - точка пересечения Крайней нормали с оптической осью;6 - апертурный угол крайнего луча Входящего пучка.Коипенсатор работает следующим 25 ОбразомГомоцентрический пучок лучей, идущих из точечного монохроматического источника излучения, расположенного в точке А, преобразуется линзами 1 и 2 компенсатора в негомопентрический, лучи которого являются нормалями к контролируемой асферической поверхности 3. Отразившись от контролируемой поверхности, лучи вновь проходят через компенсатор, формируя гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А.Таким образом, компенсатор формирует волновой Фронт, форма которого 40 совпадает с теоретической формой конт" ролируемой поверхности. Это обеспечивается эа счет указанной конструкции компенсатора и его установки относительно контролируемой поверхности и источника излучения, описанных вышее. При использовании компенсатора в системе лазерного интерферометра процесс контроля формы поверхности 3 сводится к анализу Формы волнового Фрон 1СоставительРедактор М. Петрова Техред М.Дид та, вышедшего иэ компенсатора. Еслиформа контролируемой поверхности несовпадает с теоретической, то отраженный волновой фронт получит искажения:фронт, вышедший из компенсатора вобратном ходе лучей, будет несферическим. Величину его несферичности определяют по виду интерференционной картины, возникающей в результате взаимодействия данного волнового фронта сэталонным сферическим фронтом.1 В конкретном примере выполнения компенсатор используется для контроля формы выпуклого зеркала, асферическая поверхность которого задана уравнением+ уф - 48 г - 1,6 г = О.Остаточные волновые аберрации данной системы при автоколлимационном ходе лучей не превышают 1 мкм, что позволяет при реально выполненной асферической поверхности наблюдать интерференционную картину в виде 1,5 колец, что на порядок ниже допуска на форму таких поверхностей.В данном случае относительное от- верстие контролируемой гиперболической поверхности П:Г = 1:0,25 и ее контроль известными способами и средствами с такой же точностью практически невозможен. Компенсатор для контроля формы асферических поверхностей, содержащий две линзы, вторая из которых положительный мениск, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и расширения диапазона параметров контролируемых поверхностей, первая линза выполнена плосковогнутой и обращена вогнутой поверхностью к положительному мениску, при этом положительный мениск обращен вогнутостьюк контролируемой поверхности.