Устройство для фильтрации жидкостей

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 1035 г ЧИТЕТТНРЫТИЯ ГОСУДАРСТВЕННПО ИЗОБРЕТЕНИЯПРИ ГКНТ СССР ЗОБ ИСАН ТЕНИАВТОРСНОМУ С(54) УС 1 РОЙСТВО ДЛЯ ФИЛЬТРАЦИИЖИДКОСТЕЙ(57) Изобретение может быть использовано в микроэлектронике для подготовки жидких сред, используемых в производствесверхбольших интегральных схем. Цель Изобретение относится к устройствам для фильтрации жидкостей и может быть использовано в микроэлектронике для подготовки сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем.Целью изобретения является повышение качества фильтрации, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром пор 0,2 мкм и менее и повышение надежности устройства.1-а чертеже приведено устройство, общий вид,Устройство для фильтрации жидкостей содержит корпусс размещенными в нем нагревательным элементом 2 и фильтром 3 и патрубками входа 4 и выхода 5. Перед фильтром установлены дополнительные нагревательный элемент 6 и датчик 7 температуры, включенный в схему управления (не показано) дои олн ител ьного на грев ател ьного элемента б. Для предохранения фильтра от,ЯО 154258 О изобретения - иовышени качества фль - трации агрессивных жидкостеи с удельно плотностью более 1,5 г/см, повышение надежности устройства, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром пор 0,2 мкм и менее. Устройство содержит корпус с размещенными в нем последовательно расположенными фильтром и нагревательным элементом. Перед фильтром установлен дополнительный нагревательный элемент, а между фильтром и дополнтельным нагревательньм элементом датчик температур.ь включенный в схему управления дополнте,ь 1 го нагревательного элемента. С целью предохранении фильтра от перегрева между ним и нагреватель ным элементом установлен термоизолирую щий экран. 1 з. и. р-лы, 1 ил. перегрева иод действием нагревательиог элемента 2 между ними установлен ироницаемый для жидкости термозолирующнй экран 8, выполненный в виде перфорированной мембраны, в отверстиях которой фильтруемая жидкость течет с увеличенной скоростью в направлении патрубка 5 выхода. Образующийся при этом перепад давления по обе стороны экрана препятствует движению жидкости от нагревательного элемента 2 в сторону фильтра 3.Устройство работает следуюпи м образом.Исходная жидкость поступает в кориу через патрубок 4 и, проходя через нагревательный элемент 6, нагревается до заданной температуры, контролируемой датчком 7. Далее нагретая жидкость проходт через фильтр 3, где очищается от механичсскх примесей, и теплоизолирующий экран 8. За экраном 8 жидкость дополнительно иигрева15425803ется элементом 2 и через патрубок 5 выводится из устройства. Формула изобретения Составитель А. Евдокимов Редактор М. Ванду ра Техред И: Верес Корректор М. Самборская Заказ 360 Тираж 572 Подписное ВНИИГИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-изда ельский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 10Необходимый уровень температуры отфильтрованной жидкости, выходящей через патрубок 5, обеспечивается нагревательным 5 элементом 2, установленным за фильтром 3,Применение устройства для фильтрации жидкостей обеспечивает повышение качества фильтрации, в частности, кислот с удель ной плотностью более 1,5 г/см (например, ортофосфорной, серной и др.) при размере , пор фильтра 0,2 и менее мкм, повышениенадежности устройства за счет уменьшения вязкости кислот и уменьшения перепада давления на фильтре, а также позволит снизить в 3 - 4 раза мощность привода на прокачку фильтруемой жидкости. 1. Устройство для фильтрации жидкостей, содержащее корпуо с размещенными в нем фильтром и нагревательным элементом и патрубками входа и выхода жидкости, отличающееся тем, что, с целью повышения качества фильтрации и надежности снижения мощности на прокачку жидкости через фильтр, оно снабжено дополнительным нагревательным элементом и датчиком температуры, при этом дополнительный элемент установлен перед фильтром, а датчик размещен между ними и взаимодействует с дополнительным нагревательным элементом.2, Устройство по п, 1, отличающееся тем что оно снабжено теплоизолирующим экраном, размещенным между фильтром и нагревательным элементом.