Устройство для измерения линейных перемещений

(51) 4 С 02 В 27/42 НОМИТЕТ ОП (РЦТИЯМ ГОСУДАРСТВЕННЫПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ЕНИЯ САНИЕ И соз ительвам Изобретениой технике,ля измеренияомощью дифраЦель изобрости измеренонтраста и у ана схема предларжит лаз измерит у 3, све левую ди 8 Фотопр нные с и кол ю диовод 4,Фрагму 6емники,рвым 9 иуженными ями, наг. ает следующим разом. С помощью опттоящей из лазера еской системы, с и коллиматора 2 Н АВТОРСКОМУ С(7 1) Институт электроники АН БССР (72) ВН.Ильин(56) фотоэлектрические преобразователи информации,/Под ред. Л.Н.Преснухина. И.: Машиностроение, 1974.Преснухин Л.Н., Ыаньгин В,ф., Шаталов Ю.А. Муаровые растровые датцики положения и их применение, И.; Машиностроение, 1969, с. 203.(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗИЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕИЕЦЕНИЙ е относится к измер а именно к устройст линейных перемещений кционной оптики.етения - повышение то ия за счет улуцшения прощения конструкции устроиства. На чертеже пок гаемого устройств Устройство сод матор 2, подвижну фракционную решет объектив 5, двухщ первый 7 и второй электрически связ вторым 10 усилите на счетцик 11. Устройство раб(57) Изобретение относится к измерительной технике, а точнее - к устройствам для измерения линейных перемещений с помощью дифракционной оптики. Цель изобретения - повышение точности измерений за счет улучшения контраста и упрощение конструкции. В устройстве неподвижная дифракционная решетка выполнена в виде оптического волоконного световода беэ защитной оболочки, установленного параллельно штрихам подвижной измерительной решетки на расстоянии 1,(2 ИЯ (А/2), где 9 - дли на волны излучения в вакууме;Л - период измерительной решетки. 1 ил. дается параллельныи пучок света, которым освещается подвижная.измери тельная дифракционная решетка 3, ли нейное перемещение которой необходи мо измерить (она соединена с объектом - подвижным органом измерительной однокоординатной машины)За подвижной дифракционной решеткой 3 в дифрагированном пучке установлен световод 4, продольная ось которого перпендикулярна падающему пучку и параллельна штрихам дифракционной решетки 3. Результатом взаимодействия дифрагированного на дифракционной решетке 3 пучка и пространственного растра от световода 4 является муаровые комбинационные полосы которые посредством объектива 5 передаются в плоскость двухщелевой диафрагмы 6, щели которой смещены друг относительно друга на 0,5 перио да муаровой полосы, При перемещении1525662 обеспечивает повышение точности измерений. д с и ны н у( в о Ц ( п л н и пр Ьс 2 и /9 (Л/2) ,где- длина волны излучения в вапериод измерительной решетки. Составитель А,ШмалькоРедактор А.Ревин ТехредМ,Дидык КорректорТ.ИалеЮ Щ е ж 43 Тираж 513 дарственного комитета по и 113035, Москва, Ж, Подписноебретениям и открытиям при ГКНТ СССРаушская наб., д, М 5,Заказ 722 ,ВНИИПИ Го Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул,Гагарина, 10 щ т и о и т н ч Р п 3фракционной решетки 3 нормально оим штрихам (направление показано релками) происходит движение муарох полос, которое считывается фотоиемниками 7 и 8. Почти синусоидалье сигналы с фотоприемников, сдвитые по фазе на 90 , усиливаются илителями 9 и 10 и накапливаются счетчике 11. Дальнейшая обработка уществляется известными приемами. Устройство для измерения перемений благодаря использованию свевода вместо дифракционной решетки еет более простую конструкцию и еспечивает более высокую точность мерений, так как погрешности изговления шага дифракционной решетки вызывают наклона интерференционх полос, в результате чего исклюются погрешности второго растра из зультата измерения. В устройстве и любых погрешностях шага дифраконной решетки всегда имеется пара ефрагированных и дифрагированных) чков, распространяющихся паралльно и интерферирующих без измения пространственного положения терференционных полос, имеющих стоянную контрастность, что и 5 Формула изобретения Устройство для измерения линейных перемещений, содержащее последовательные установленные источник света, коллиматор, две прозрачные дифрак., ционные решетки, одна из которых подвижная измерительная, а другая неподвижная, объектив, двухщелевую диафрагму и два фотоприемника, выходы которых через усилители подключены к счетчику импульсов,. о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений за счет улучшения контраста и упрощения конструкции, неподвижная дифракционная решетка выполнена в виде оптического волоконного световода без защитной оболочки, установленного своей осью параллельно штрихам подвижной измерительной решетки на рас- стоянии