Способ измерения вертикальных размеров элементов топологии микрообъектов

(51) 4 С 01 В 15/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 2ний зависимости параметра излучения после взаимодействия с элементом от угла наклона потока зондирующего излучения относительно поверхности исследуемого объекта. Исследуемый элемент облучают потоком зондирующего излучения, регистрируют параметр излучения после взаимодействия с элементом. Наклоняя объект относительно потока излучения, добиваются экстремума этого параметра. Не меняя ориентации объекта, сканируют его потоком излучения, По величинам параметра излучения определяют вертикальный размер элемента микрообъекта. Параметром излучения являются или поток упругоотраженного зондирующего излучения, или поток вторичных частиц, ,или поток поглощаемого зондирующего излучения. 2 з.п.ф-лы. Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в анализирующих микрозондовых контрольно-измерительных приборах, например, растровых микроскопах.Целью изобретения является упрощение измерений и повышение их производительности, что достигается использованием для измерений зависимости параметра измерения после взаимодействия с элементом от угла наклона потока зондирующего излучения относительно поверхности исследуемого объекта.Способ осуществляется следующим образом,Потоком зондирующего излучения облучают участок верхг(ей плоскости измеГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР 1(71) Московский институт электронного машиностроения(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕРТИКАЛЬНЫХ РАЗМЕРОВ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИ МИКРО- ОБЪЕКТОВ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих микроэондовых контрольно-измерительных приборах, например растровых микроскопах, Цель изобретения - упрощение измерений и повышение их производительности. Она достигается использованием для измереряемого элемента наклоняют эту плос- ьфффггкость относительно оси потока, зонди- (Л рующего излучения до появления экст- Ь) ремума параметра излучения, далее, ;) ,не изменяя угол наклона зондирующего (;ф потока к указанной плоскости болеечем на величину 11 мця, где к - коэф,фициент пропорциональности, связывающий величину угла наклона зондирующего потока, к плоскости облученияи величину параметра излучения, возникающего при этом облучении; 1 минминимально регистрируемая величинапараметра излучения, сканируют поток в направлении, перпендикулярном границе верхней плоскости элемента, до появления второго такого же экстрему1523915 0,5 мкм, заключающийся в том, что на объект под разными углами направляма, при этом измеряют величину параметра излучения между двумя экстрему" мами, после этого по результатаи вычисляют искомую величину по формулеН =:(Х,-Х,) сВ (1,/1,),1=(1;/10) " зависимость угла паодения потока зондирующего излучения ототносительной величигде 3. Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве регистрируемого параметра излучения выбирают поток поглощенного зондирующего излучения, а в качестве экстремума параметра излучения - максимум этого параметра. 1. Способ измерения вертикальныхразмеров элементов топологии микрообъектов с линейными размерами более Составитель Л,СебякинРедактор Н.Бобкова Техред 1,Дидык Корректор Л.Бескид Заказ 7032/43 Тираж б 83 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,10 где (Х; -Х;)-длина -го участка, .утри которого амплитуда параметраизлучения равна 1 = 1,;1 д- экстремальное значение параметраизлучения;количество участков параметра излучения, в пределах которых онпринимает Фиксированные значения;("/1,/1) - функция угловой зависимости генерации параметра излучения,физический смысл которой - уголмежду иориалью к облучаемому участку поверхности и осью потоказондирующего излучения, обеспечивающий генерацию параметра излучения с амплитудой 1;.В качестве параметра излучения используют либо поток упругоотраженыхили вторичных частиц зондирующего излучения, в этом случае измерениепроводят с помощью парносимметричногопреобразователя на отрезке между дву-.мя иинимуиами параметра, либэ нотокпоглощенных частиц зондирующего:.элучения, в этом случае измерение рсводят на отрезке между двумя макси.умами параметра.Использование предлагаемого способа целесообразно в научных исследованиях, а также в заводских лабораториях и технологических линейках.Способ существенно упрощает процесс 40измерения и является высокоскоростным,что позволяет применять способ длявыполнения больших объемов измеренийпараметров микроструктур,45формула изобретения ют поток зондирующего излучения, ре" гистрируют излучение после взаимодействия с объектом и с учетом его параметров определяют вертикальный размер элемента, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения и повышения производительности измерения, поток зондирующего излучения направляют на верхнюю плоскость элемента,/при изменении угла падения потока зондирующего излучения фиксируют угол, при которои параметр излучения экстремума 1,при зафиксированном угле сканируют элемент потоком излучения в направлении, перпендикулярном краю элемента, до появления второго экстремума 1 о параметра излучения, регистрируют величины 1; параметра излучения и расстояния Ь Х;, на которых 1 = 1, и определяют вертикальный размер Н элемента топологии по формуле ны параметра излучения 1;/1 для материала из которого изготовлен элемент.2. Способ по и1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве регистрируемого параметра излучения выбирают поток отраженного зондирующего излучения или вторичного излучения, а в качестве экстремума параметра иэ.лучения - минимум этого параметра,