Способ измерения двугранных углов между отражающими гранями тетраэдрического световозвращателя

(191 (И 1 В 11/26 ГОСУДАРСТВЕННЫПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР КОМИТЕТ ОТКРЫТИЯМ НИ ЕНИ М АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ рмации .ред.978(56) Передача и обработка инфоголографическими методами/ ПодС.Б,Гуревича. - Сов. радио., 1с. 304.Бондаренко И.Д. Методы контрокачества изготовления уголковыхражателей. - ОМП, 1985, 1," 7, с.58(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДВУГРАННЫХ УГЛОВ МЕЖДУ ОТРАЖАО 4 ИМИ ГРАНЯМИ ТЕТРАЭДРИЧЕСКОГО СВЕТОВОЗВРАЩАТЕЛЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повышение точности измерения малых отклонений д двугранных угОлов от 90 , Это достигается за счет перехода от измерений геометрических параметров распределения интенсивности к определению каноницеской пространственной частоты 1, Фурье - спектра того же распределения, которая увеличивается с уменьшением искомого отклонения, На фоточувствительном элементе пространственно-временного модулятора 8 света получают распределение интенсивности излуцения, ,соответствующее Функции распределения точки (ФРТ) световозвращателя 1 О. Схема оптического Фурье-преобразования состоит из источника 6 сцитывающего излуцения, Формирующей системы 7, модулятора 8 и Фурье-обьектива 9. В Фокальной плоскости последнего рас- Я пределение интенсивности, излучения соответствует квадрату модуля Фурье - спектра ФРТ, который соответствует ,модуляционной передаточной функции (МПФ) световозвращателя 1 О, Первое нулевое значение МПФ соответствует . минимальному значению канонической Эеа частоты 1 по которому определяют (Д искомое отклонение с измеряемого угла фф от 90 с 1 ил, ЮИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле углов высокоточных тетраэдрических световозвращателей.Цель изобретения - увеличение тоцности измерения малых отклоненийдвугранных углов от 90".На чертеже представлен пример выполнения устройства для, реализацииизобретения.Устройство содержит истоцник 1 излучения, оптическую систему 2, Формирующую параллельный, пучок, светоделитель 3, диафрагму 1, объектив 5 и схему оптического Фурье-преобразования,состоящую иэ источника 6 считывающегоизлучения, Формирующей оптическойсистемы 7, пространственно-временного 20модулятора 8 света и Фурье-объектива9, Контролируемый световозвращатель10 установлен по. ходу излучения, отраженного светоделителем 3. ДиаФрагма1 имеет вырез в виде сектора с углом 25о.раскрытия 120 и установлена такимобразом, что его биссектриса совпадаетс проекцией ребра контролируемогодвугранного угла на плоскость диаФрагмы, 30Излучение, сформированное источником 1 и оптической системой 2, послеотражения от светоделителя. 3 направляется на контролируемый световозвра-.щатель 10. Часть отраженного световозвращателем пучка проходит светоделитель 3, диафрагмуи Фокусируетсяобъективом 5 на фоточувствительномэлементе пространственно-временногомодулятора 8, являющегося транспорантом в схеме оптического фурье-преобразования. В Фокальной плоскостиФурье-объектива 9 распределение интенсивности считывающего излучениясоответствует квадрату модуля Фурьеспектра функции распределения точки(ФРТ), полученной на фоточувствительном элементе модулятора 8, т,е. соответствует квадрату модуляционнойпередаточной функции (ИПФ) световоз 50вращателя 10, В указанной плоскостиизмеряют минимальную каноническуючастотусоответствующую первомунулевому значению Фурье-спектра. Затем по Формуле, приведенной в формулеизобретения определяют отклонениеизмеряемого угла от 90. Эту Формулуполуцают путем расчета на ЭВИ по следующему алгоритму: Расчет аберрационнои Функции зрачка (АФЗ) световозвращателя для той его части, которая открыта диаФрагмой 1;2. Расчет ФРТ световозвращателя как квадрата модуля Фурье-преобразования АФЗ",3. Расчет ИПФ световозвращателя как Фурье-преобразования ФРТ;Вычисление значения 4,;5. Аппроксимация зависимости =Г( ) для ряда значений ), и со-. ответствующих им К. При аппроксимации.отброшены члены получаемого ряда, значение которых не превышает 0,01.Использование изобретения позволяет увеличить тоцноть измерения малых отклонений двугранных углов от 90 поскольку оно предусматривает переход от измерений геометрических параметров распределения интенсивности к определению канонической пространственной частоты 4 Фурье-спектра того же распределения, которая увеличивается с уменьшением искомого отклонения.Формула и э о б р е т е н и яСпособ измерения,двугранных; углов между отражающими .гранями тетраэдрического световозвращателя, заключающийся в том, что выходной зрачок световозвращателя ограничивают двумя смежными секторами с углами раскрытия 60 О, разделенными проекцией ребра измеряемого двугранного угла, облучают световозвращатель коллимированным пучком излучения, фокусируют отраженный световозвращателем пучок, регистрируют пространственное распределение интенсивности излучения в плоскости фокусировки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения точности измерения малых отклонений двуграноных углов от 90 , получают Фурье- спектр зарегистрированного распределения, определяют минимальное значение , канонической пространственной частоты, соответствующее первому нулевому значению полученного Фурье спектра, и вычисляют отклонение Х двугранного угла от 90 по формулес/= а ( -- Ь)+а ( -- Ь) г+а ( -- Ь) з1 1 13где а, = 8,21;М;а = 0,089;Ь = 1,6,