Способ измерения вакуума

/12 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬПИЯПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ АВТОРСКОМУ СВ ЕТЕН ИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Особое конструкточеское бюро Физико-техститута низких темперакий заочный политехничим. И.З.Соколова(56) Иичипорович Г.А,М,: Машиностроение, 19Авторское свидетельР 909607, кл, 6 01 1. 2 давпуконтролирения разрежем определого относиельного ре ко-тическ лог о инраинс ститу источнику т При этом че ту ес мени провод туры резис ва, а давле Мо о Вакуумм 77ство С1/1 2,етры, -ге,СР980 е С 0 - гразистора 3 , я тока пост НИЯ ВАК змерения воговителвремеями;чувст ьно и между Е,ительноатура термоа в моментего измере - темп резист второ первоний. измерибретение относится кй технике, в частностие измерения давления разрежазов, и может быть использоакуумметрических системах.Целью изобретения являетсение времени измерения и умощности питания, отдаваемойолируемую среду,Измерение давления разрежаза производят путем определ Изо тельнони нных а емпературе те езистора, При оком постоянн емператур межд вязана с давл кьшени у резисторомнием газа та кон СоР8- Т,нног ени(54) СПОСОБ ИЗМКР (57) Изобретение тельной технике и зовано в вакуумме для измерения дав газов. Целью изоб сокращение времен шение мощности пи тносится к измериможет быть испольрических системах ения разреженных етения является измерения и уменьания, передаваемой 509655 А 1 емую среду. Измерение енного газа проводят ния температуры перегре ельно газа термочувстви истора, подключенного к ка постоянной мощности, ез равные промежутки вр т три измерения темпераора в процессе его нагре ие определяют по формуле ировочныи коэффициент время после включенной мощности до пертемпературы термочувс стора; д 1 - интервал оследующими измеренитеплопередачи от перегретого относительно газа термочувствительного резистора, а теплопередачу определяют мочувствительногоперегреве резисторай мощности разность1509655 10Подстановка (9) и (7) в (1) дает формулу для определения давленияразреженного газав,-а, вв, й2 В-В -В (В -Вг э 1 э(10) О=а(8- Т ),(2) где- коэффициент теплоотдачи;Я(с) - температура нагреваемого 20резистора;Т - температура газа;с - теплоемкость резистора;ь - текущее время.Решение этого уравнения имеет внд 25(5) о (Температура динамического равновесия резистора с газом - это температура к которой стремится Д при,6 -ф 35ю и равняется 9(оф)А(6) Таким образом, разность темпераТУр между резистором и газом после включения тока питания постоянной мощности и достижения динамического равновесия равна 6- Т= 6( ) - О(о) = В. (7) 5 где С эИменно эту величину нужно опреде; лить, чтобы по формуле (1) измерить давление разреженного газа, Для измерения этой величины производят измере 50 ния температуры резистора в три момента времени й , сг+ де и+ 2 ай и согласно (4) записывают систему уравнений55 3где С - константа, определяемаямощностью, геометрией датчика и сортом измеряемогогаза;О - температура перегретого резистора;Т - температура газа,Обмен теплом между резистором и газом происходит по закону а нагрев резистора постоянной мощностью Ю описывается уравнением11"1 о с р 1 л + Ы(д Т,.) (3)- 41/о8( )6, = А - В е ( ,д 1 1Ю(йг) Вг = А- В е 1 (8) 4 -(11+23+)8(С ) 8 =А-Ве еэЬ Иэ системы уравнений (8) определяют величину В следующим образом:(81 81 ) 61-61 ЛВ,- (- -- ;), (9 )26 г- О, -8 э 8 э - Вг. Таким образом, при измерении вакуума по;предлагаемому способу существенно сокращается время измерения и уменьшавшая энергия, передаваемая в контролируемую среду, Последнее особенно существенно для разового дистан" ционного или периодического контроля вакуума в криогенных системах,формула изобретения Способ измерения вакуума, включающий перегрев термочувствительного резистора. относительно. газовой среды током постоянной мощности и измерение температуры резистора, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью сокращения времени измерения и уменьшения мощности питания, производят через равные, промежутки времени три измерен. ния температуры термочувствительного резистора, а давление Р определяют из соотношения 1,-й,. 8,-, д.о 26 г 8, -93Вэ Ой- г радуиров очный коэффициент;- температура термочувствительного резистора в мо.мент первого, второго итретьего измерений; - время после включения токапостоянной мощности до первого измерения температурытермочувствительиого резистораинтервал времени между последующими измерениями.