Способ определения толщины слоя на подложке

(54) СПОСОБ НА ПОДЛОЖКЕ (57) Изобре тельной тех эмери о для ение относится ике и предназна дированного Указанна счет увеличлояецель достигаетсяия интенсивности кра ки интересе Суть спнционнои картины. оба заключается в леС цельи получен личимой интердерен.поверхность анодир ле напыления слояя визуально раз ионной окраски ванного с. я по иэлектрик укав обГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССРОПИСАНИЕ ИЗОБРЕН АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ.П. и др. Элерование детал1983, с.72. ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛО Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам определения толщины анодированного слоя на ленте и качества этого слоя.Цель изобретения - расширения области использования за счет обеспечения возможности определения толщины анодированного слоя на алюминиевой ленте и качества нанесения анодующем.Толщина пленки искусственно личивается до оптимальной, даи интериеренционнуи окраску в пе порядке интерференции в видимо определения толщины и качества нанесения анодированного слоя на алюминиевую ленту. Цель изобретения - определение толщины и качества анодированного слоя на алюминиевой ленте -достигается путем увеличения интенсивности окраски интерференционнойкартины. На поверхность анодированного слоя наносят слой диэлектрика,толщина которого определяется экспериментально,и полупрозрачный слойметалла с толщиной, определяемой экспериментально, создавая тем самымвизуально размельченную интереренционнуи окраску поверхности анодкрованного слоя, по которой определяюттолщину и качество нанесения слоя. ласти спектра, путем напыления в вакууме слоя диэлектрика заданной толщины Ь. Показатель преломления напыляемого диэлектрика должен быть близ ким показателю преломления исследуемой пленки.Экспериментально установлено, что интервал толщин 450-70 нм является оптимальным, так как при напылении слоя Ь менее 50 нм интерференционная окраска не появляется (образец не имеет коричневый цвет), а при напылении слоя толщиной более 70 нм наб людается "молочный" матовый оттенок, затрудняющий определение цвета.5 б 94 й о р м у л а изобретения Составитель В.КлимоваРедактор 1 О.Середа Техред Л.Сердюкова Корректор П.Пилипенко Заказ 932/40 Тираж 683 Подписное ИБИПИ Государственного комитета поизобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Иосква, Ж, Рауйская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 з 146 занной толщины покрывают путем вакуумного испарения тонким (3-5 нм) полупрозрачным слоем металла, не имеющего собственной окраски (А 1, М, Рй), Напыление слоя металла толщиной менее 3 нм не дает яркой интерференционной окраски, а слоя более 5 нм приводит к тому, что образец приобретает серебристый "металлический" блеск, Следовательно, для анодированного слоя алюминиевой консервной ленты (АКП) оптимальная суммарная толщина напыляемых слоев диэлектрика и металла составляет 50- 70 нм + 3-5 нм.Окраска подготовленной таким образом поверхности возникает вследствие интерференции световых волн, отраженных от напыпенного металлического слоя и от металлической подложки, разделенных прослойками диэлектрика. Специальных устройств для наблюдения интерференционной окраски не требуется, окрашивание возникает в силу известных физических явлений при освещении подготовленного объекта естественным светом и наблюдениио отраженного света под углом 70-90Способ осуществляют следующим образом.Из анодированной алюминиевой ленты вырезают три образца из характерных участков по ширине ленты (среднего и периферийных) .По формуле и = 4 к Я ЬК рассчитывают навески напыляемых материалов, где Ь - толщина напыляемого слоя; ш и Я - соответственно масса и плотность испаряемого вещества; К - расстояние от испарителя до образца.В установке типа ВУПК при ва-гкууме порядка 10 Па на образцы последовательно напыляют слой диэлектрика толщиной 50-70 нм и слой металла толщиной 3-5 нм.5Визуально определяют цвет интерференционной окраски поверхности образца при освещении его белым светомпри наблюдении под углом, близким кО90 к его поверхности.Значение предлагаемого способазаключается в оперативном контроле толщины и качества анодированного слоя, исключении использования вредных веществ в 1 процессе определения толщины анодированного слоя на АКЛ, применяемомранее 20Способ определения толщины слояна подложке, заключающийся в том, что направляют излучение на объект, наблюдают интерференционную картину 25 и по ней судят о толщине слоя, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения области использования за счет обеспечения возможности определения толщины анодированногослоя на алюминиевой ленте и качества нанесения анодированного слоя, наленту с анодированным слоем наносятслой диэлектрика с коэффициентом преломления, близким к коэффициентупреломления анодированного слоя, и ЗБтолщиной Ь слоя, соответствующегоэкспериментально установленному соотношению 50Ь, ( 70 нм, и полупрозрачный слой металла с толщиной 4 О Ь, соответствующей экспериментальноустановленному соотношению 3 с Ь4 5 нм, а толщину анодированногослоя и качество определяют по окраске интерференционной картины.