Способ работы молекулярного насоса

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 455050 4 1 04 Р 19 04 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ТВУ л. ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОП.1 РЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕП(71) Омский политехнический институт(54) СПОСОБ РАБОТЫ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА(57) Изобретение относится к способам получения вакуума при помощи молекулярныхсредств откачки. Цель изобретения - улуч,шение откачных характеристик насоса. Входной и выходной патрубки 2, 3 разделеныперегородкой 4. По оси корпуса 1 размещенохлаждаемый ротор 5, снабженный сорбирующим покрытием 6, расположенным нанаружной поверхности ротора 5 и выполненным в виде материала с фазовым переходом металл - диэлектрик. В зоне патрубка 2 расположено устройство 7 для воздействия на покрытие 6. При вращении ротора 5 и воздействии на покрытие 6 в зоне патрубка 2 осуществляют переход материала в фазу металл, Адсорбированные молекулы, попадая вместе с ротором в зону патрубка 3, десорбируются вследствие прекращения воздействия устройства 7 и перехода материала в фазу диэлектрик при т-ре охлаждения на 2 - 5 ниже т-ры фазового перехода. Фазовый переход в зоне патрубка 2 осуществляют путем нагрева материала до т-ры, превышающей т-ру фазового перехода, либо путем воздействия на материал электростатическим или магнитным полем. Обеспечение захвата молекул в зоне патрубка 2 и десорбция их в зоне патрубка 3 позволяют улучшить скоростные характеристики насоса. 3 з.п.ф-лы,1455050 Форлщла изобретения Сост а в ит ель В. Кря к о в к инРеда кто р М, Пет ро ва Техред И. Верес Кор ре кто р В. Бутя гаЗаказ 7429/40 Тираж 520 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР1133035, Москва, Ж - 35, Раушская нгб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная. 4 1Изобретение относится к вакуумной техике, а именно к способам получения вак 1 уума при помощи молекулярных средств откачки.Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса.На чертеже представлена схема молекулярного насоса,Насос содержит корпус 1 с входным и ыходным патрубками 2 и 3, разделенны и перегородкой 4, и размещенный по оси корпуса 1 охлаждаемый ротор 5, снабженый сорбируюшим покрытием 6, расположеным на наружной поверхности ротора 5 и ыполненным в виде материала с фазовымереходом металл - диэлектрик. В зоне входного патрубка 2 расположено устройство 7 ля воздействия на сорбируюшее покрыие 6, Это устройство может быть выполнено . ибо в виде источника тепла, либо в виде сточника электростатического поля, либо виде источника магнитного поля.Способ осушествляют следующим обраом.При вращении ротора 5 и воздействии на орбируюшее покрытие 6 в зоне входного атрубка 2 с помощью устройства 7 осуцествляют переход покрытия 6 в фазу металл. В этом состоянии покрытие обладает высокими адсорбционными характеристиками и сорбирует молекулы газа, поступаю 1 цие через входной патрубок 2. Неадсорбируемые молекулы при соударенни с вращающимся ротором 5 получа 1 от импульс в направлении вращения, т. е. в сторону выходного окна 3. Адсорбированные молекулы, попадая вместе с ротором 5 в зону выходного окна 3, десорбируются вследствие прекращения воздействия устройства 7 и перехода покрытия в фазу диэлектрик при температуре охлаждения на 2 - 5 С ниже температуры фазового перехода. В фазе диэлектрик сорбируюшие свойства покрытия очень низки.Таким образом, обеспечение захвата молекул в зоне входного патрубка и десорбцию их в зоне выходного патрубка позволяет улучшить скоростные характеристики молекулярного насоса. 1. Способ работы молекулярного насоса, включающий охлаждение. ротора, адсорбцию молекул откачиваемого газа на сорбируюшем покрытии ротора в зоне входного патрубка корпуса и носледуюшую десорбцию их в зоне выходного патрубка, отличающийся темчто, с целью улучшения откачных характеристик, в качестве сорбируюшего покрытия используют материал с фазовым переходом металл - диэлектрик, охлаждение ротора ведут до температуры на 2- - 5"С ниже температуры фазового перехода, а в зоне входного патрубка осуществляют переход материала в фазу металл.2. Способ по п. 1, отличаюи 4 ийся тем, что фазовый переход в зоне входного патрубка осуществляют путем нагрева материала до температуры, превышаюгцей температуру фазового перехода.3. Способ по и. 1, отлич 2 юш,ийся тем, что фазовый переход в зоне входного патрубка осуществляют путем воздействия на материал электростатическим полем,4. Способ по п. 1, отличи,ощийся тем, что фазовый переход в зоне входного патрубка осуществляют путем воздействия на материал магнитным полем.