Устройство для измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика

(д-ка) аземленеханизм и 7 пере регистра- ЗМП 3 эарец зонда е с обра- ЗМП 3. дной часи ЗМП 3 щен Син тот щад и(57) Изобрмерениям.ние точнос го значеласти. ост зме верхно СУДАРСТЕЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ ВТОРСНОМЪ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Томский политехнический институт им. С.М.Кирова(56) Авторское свидетельство СССР В 781717 ф кл. С 01 К 29/12, 1975Боев С,Г., Галанов А.И. Заряжение монокристалла фтористого лития при раскалывании. - Физика твердого тела, 1980, т. 22, Иф 10, с. 3065- 3075. ТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАСАРЯДА ПО ПОВЕРХНОСТИ тение относится к эл,изель изобретения - повышен измерения. Устройство содержит измерительныи зондновленный в сквозном отверсземленной металлич. пластинрасположенной параллельно пти зондируемого диэлектрикарасположенного на плоской зной металлич. подложке 5, мвибрирования (МВ) Ь, механимещения подложки 5, блок 8ции эл. сигнала с зонда 1.креплена на МВ 6, причем то1 расположен на одном уровнной к д-ку 4 плоскостьюхронное вибрирование с оой и амплитудой зонда 1позволяет резко ограничитьзондируемой поверхности д-куменьшить искажение истиннония заряда в зондируемой обЭто способствует повьвпению я распределения заряда по поти д-ка, 1 ил,1392519 1 О Тираж 772 П и ВНИГП Заказ 1888/51 одп сноеПроизв,-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к технике электрических измерений и может быть использовано для измерения распределечия заряда по поверхности диэлект 5 рика при определении опасных и вредных проявлений статического электричестваа.Цель изобретения - повышение точности измерения.На чертеже приведена конструкция устройства для измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика.Устройство для измерения распреде ления заряда по поверхности диэлектрика содержит измерительный зонд 1, установленный в сквозном отверстии 2 заземленной металлической пластины 3, расположенной параллельно поверхности зондируемого диэлектрика 4, помещенного на плоской заземленной металлической подложке 5, механизм 6 вибрирования измерительного зонда 1 и металлической пластины 3, меха низм 7 перемещения заземленной металлической подложки 5 и блок 8 регистрации электрического сигнала е измерительного зонда 1.Устройство для измерения распреде О ления заряда по поверхности диэлектрика работает следующим образом.Над поверхностью расположенного на заземленной металлической подложке 5 испытываемого диэлектрика 4 уста 35 навливают измерительный зонд 1, помещенный в сквозном отверстии 2 заземленной металлической пластины 3Заземленная металлическая пластина 3 параллельна поверхности диэлектрика 4 и не соприкасается ни с зондом 1, ни с диэлектриком 4. С помощью механизма 6 вибрирования измерительный зонд 1 и заземленная металлическая пластина 3 вибрируют синхронно с од 45 ной частотой и амплитудой в направлении, перпендикулярном поверхности диэлектрика 4. На измерительном зонде 1 при этом индуцируется электрический сигнал, пропорциональный по величине заряду в зондируемой точке поверхности диэлектрика 4, который регистрируется блоком 8 регистрации, С помощью механизма 7 перемещения заземленной металлической подложки 5 осуществляется перемещение диэлектрика 4 вместе с заземленной подложкой 5 над измерительным зондом 1, что позволяет измерить распределение заряда по поверхности диэлектрика 4.Синхронное вибрирование с одной частотой и амплитудой измерительного зонда 1 и заземленной металлической ппастины 3, в сквозном отверстии 2 которой установлен измерительный зонд 1, позволяет резко ограничить площадь зондируемой поверхности диэлектрика 4 и уменьшить искажение истинного значения заряда в эондируемой области зарядом с соседних участков поверхности, Все это и способствует повышению точности измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика. Формула изобретенияУстройство для измерения распределения заряда по поверхности диэлектрика, содержащее измерительный зонд, размещенный в сквозном отверстии, выполненном в заземленной металлической пластине, которая параллельна поверхности диэлектрика, располоенного на плоской заземленной металлической подложке, механизм вибрирования измерительного зонда в направлении, перпендикулярном плоскости заземленной металлической пластины, механизм перемещения плоской заземленной металлической подложки и блок регистрации, вход которого соединен с выходом измерительного зонда, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, заземленная металлическая пластина закреплена на механизме вибрирования измерительного зонда, причем торец измерительного зонда расположен на одном уровне с обращенной к диэлектрику плоскостью заземленной металлической пластины.