Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений

(51)4 С 01 В ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ В ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Авторское свидетельство СССРУ 697809, кл. С 01 В 11/26, 1975.(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике, предназначено дляизмерения угловых перемещений объекта и может быть использовано в машиностроении для проверки угломерныхустройств. Целью изобретения является повышение точности за счет выполнения отражательного блока и использования диафрагмы как вторичного исЯО 1 64866 А 1 точника, При вращении объекта 6 вокруг оси вместе с ним вращается и оптический клин 5, вносящий сдвиг воптическую разность хода лучей, прошедших клин 5 и отраженных от покрытия 7, В зависимости от угла поворота объекта 6 изменяются оптическиепути лучей, дважды проходящих клин5 и падающих на щелевую диафрагму8, щели которой образуют вторичныеисточники излучения. Оптическая система 9 формирует интерференционнуюкартину в плоскости щелевой диафрагмы 10, Изменение оптической разностикода интерферирующих лучей приводитк движению интерференционных полосна регистрирующей системе 11, которая преобразует полосы в импульсыфототока и производит их подсчет споследующим вычислением значения угла поворота. 1 ил,1364866 Формула изобретения Составитель Н, Захаренко Корректор С, Шекмар Редактор П. Гереши Техред И.дидык Заказ 6576/31 Тираж 680 Подписное ВНИИПИ Государстенного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для измерения угловых перемещений объектаи может быть использовано в машино 5строении для проверки угломерныхустройств.Цель изобретения - повышение точности измерения за счет выполненияотражательного блока и использованиядиафрагмы как вторичного источника,На чертеже представлена оптическая схема устройства.Интерференционное устройство содержит последовательно расположенные осветитель 1, включающий лазер 2 иколлиматор 3, светоделитель 4 для деления падающего излучения на два потока, в одном из которых установленотражательный блок в виде оптическогоклина 5, скрепляемый с объектом 6,На оптический клин 5 нанесено зеркальное покрытие 7 со стороны, обращаемойк объекту 6, Во втором потоке от светоделителя 4 последовательно установлены двухщелевая диафрагма 8, оптическая система 9, щелевая диафрагма10 и регистрирующая система 11,Устройство работает следующим об разом.Излучение от лазера 2, пройдя коллиматор 3 и светоделитель 4, делится на два потока, один из которых направляется на клин 5 другой. - на диафрагФ35 му 8.При вращении объекта 6 вокруг оси вместе с ним вращается и оптический клин 5, вносящий сдвиг в оптическую разность.хода соответствующих лучей, 40 прошедших клин 5 и отраженных от по-крытия 7. В зависимости от угла поворота объекта 6 изменяются оптические пути лучей, дважды проходящихклин 5 и падающих на щелевую диафрагму 8, щели которой образуют вторичныеисточники излучения. Оптическая система 9 формирует интерференционнуюкартину в плоскости щелевой диафрагмы 10, Изменение оптической разностихода интерферирующих лучей, вызванное поворотом объекта 6, приводит кдвижению ннтерференционных полос нарегистрирующей системе 11, котораяпреобразует их в импульсы фототокаи производит их подсчет с последующим вычислением значения угла поворота. Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений, содержащее последовательно расположенные осветитель и светоделитель для деления падающего излучения на два потока, в одном из которых установлен отражательный блок, скрепляемый с объектом, в другом последовательно установлены оптическая система, щелевая диафрагма и регистрирующая система, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено двухщелевой диафрагмой, установленной между оптическим блоком и светоделителем, а отражательный блок выполнен в виде оптического клина с зеркальным покрытием со стороны, обращаемой к объекту.