Устройство для обработки листовых диазопленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1352444
Авторы: Александров, Белевич, Васильев, Полушкин
Текст
.С.Ваушки 9301,7863,гхЫ Мхаа,б Сл 17 М ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ЛИСТОВЫХ ДИАЗОПЛЕНОК(57) Изобретение м. о. использовано в технике фотолитографии при производстве фотошаблонов интегральных схем, печатных плат и др. изделий. Цель изобретения повышение качества обработки листовых диазопленок. В устр-ве держатель диазопленок выполнен в виде двух параллельно расположенных на направляюцей рейке 7 стержней 6, соединенных с системой подачи реагента. В распылитель 5 и стержни 6 подают пары аммиака по гибким трубкам 9. Отверстия 8 на обрашенных друг к другу сторонах стержней 6 обеспечивают хорошую циркуляцию реагента между диазопленками. 3 ил.1352444 Форму.га изобретения ЮыР,4га Составитель В. ДенисовРедактор Л. Маковская Тсхред И. Версс Корректор И. ЭрдсйиЗаказ 5273,45 Тираж 42 ГодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, Ф 1Изобретение относится к обработке свегочувствительиых материалов и может быть исиользоваио в технике фотолитографии ири ироизводствс фотошаблоцов ицтегральиых схем, иечатцых плат и других изделий.Целью изобретения является иовышецие5 качества обработки.1-а фиг. 1 изооражецо иредлагаемое устройство, разрез; иа фиг. 2 - вид А ца фиг. 1 (со снятой крышкой); ца фиг. 3 - установка диазоилецок для обработки.Устройство содержит кориус 1, крышку 2, уилотце 1 ие 3, устаиовлсццое между кориусоч и крышкой, выиолцеццое, например, из силиконовой резицы. В камере устройства, образованной корпусом 1 и крышкой, размси 1 ецы нагреватели 4, связанные с системой тсрморегулироваиия (ие показана), распылитель 5 и два полых стержня-держателя 6. Стержни 6 установлены параллелью олив другому ца иаиравляющей рейке 7 с возчожиостью изменения расстояния между цичи. В стержнях 6 ца обраи 1 еццыходца к другои сторонах выиолцецы отверстия 8.Распылитель 5 и стержни 6 гибкими трубками 9 соедииецы с системой иодачи паров аммиака (ие иоказаца). 25Устройство работает следующим образом.Два листа лиазоилецки 10, обращеццые олин к лругому эмульсиоццой стороной и соедицециые ио двум противолежащим краям, например, ультразвуковой сваркой, иосле экспонирования устанавливают ца стеркци.держатели 6 таким образом, что стержни 6 размещаются между листами диазоилсцок. После установки листов диазопленки 10 ца стержни 6 камеру закрывают и через распылитель 5 и стержни 6 подают аммиак с одцовремеццым цагрсвом рабочего объема до необходимой темиературы.Подача паров аммиака в рабочий обьем камеры через распылитель 5 позволяет исключить воз,1 у 1 ицые пузыри в отдельггых зонах, а через отверстия 8 в стержцях 6 - обесиечить хорошую циркуляцию реагецта чежду диазоилецкамиО, тем самым иовысит качество обработки. Устройство для обработки листовых диазоилецок, содержащее герметичную камеру с крышкой, нагреватель, распылитель, связаццый с системой подачи реагецта, и держатель ли азоилецок, огогггчагощееся тем, что, с целью повышения качества обработки, держатель выиолцец в виде двух параллельцо расиоложеццых полых стержней, ца обращециых друг к другу стороцах которых выиолиецы отверстия, ири этом стержни связацы с системой иолачи реагецта.
СмотретьЗаявка
4006273, 07.01.1986
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8657
АЛЕКСАНДРОВ ЭРНСТ АРСЕНЬЕВИЧ, ВАСИЛЬЕВ СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, БЕЛЕВИЧ ГЕНРИХ МЕЧИСЛАВОВИЧ, ПОЛУШКИН ДМИТРИЙ СЕРГЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G03D 7/00
Метки: диазопленок, листовых
Опубликовано: 15.11.1987
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1352444-ustrojjstvo-dlya-obrabotki-listovykh-diazoplenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для обработки листовых диазопленок</a>
Устройство для пробивки отверстий в прозрачном листовом материале по базовым меткам
Номер патента: 658795
Опубликовано: 25.04.1979
МПК: H05K 3/00
Метки: базовым, листовом, материале, меткам, отверстий, пробивки, прозрачном
...расположены соосно. Втулка 22 своей цилиндрической поверхностью 23 входит с некоторым зазором в направляющее отверстие 24 верхней плиты, а буртом 25 закреплена на планке 26, жестко соединенной со штоком 27. Пружиной 28 шток прижат к эксцентрику 29, вмонтированному в корпус 30.Устройство работает следуюгцим образом.Пленку 31 (см. фиг. 5), имеющую метки в виде темных кружков на светлом фоне, помещают в паз 7 (см. фиг. 1 и 5) между верхней плитой 6 и основанием 1 и перемещают в пазу до совмецения любой одной метки 32 (см. фиг. 6 - 8) с центральным отверстием7 (см. фиг. 8) опорного фланца 16. Круглая форма метки и небольшая разность диаметров контрольного отверстия и метки позволяют получить совмещение более точное, чем при использовании...
Штамп для чистовой пробивки отверстий в неметаллическом листовом материале
Номер патента: 531737
Опубликовано: 15.10.1976
Автор: Брусин
МПК: B27M 1/04
Метки: листовом, материале, неметаллическом, отверстий, пробивки, чистовой, штамп
...=30 - 40и =88,5 - 89" у матриц, чтополучению чистой кромки отвермой детали 18 со стороны вхож30 ного пуансона 1 и матрицы 8.принимает давление тыльной части пробивного пу нисона 5 и подчистного пуансона 1. Образуемый пробивным пуансоном отход смещается соответственно в матрицу 7.Из скошенной части пробивного пуансона отход удаляется выталкивателем 20, действующим от пружины 21, К ползуну пресса верхняя (подвижная) часть штампа крепится через хвостовик 22.Штамп работает следующим образом.Деталь 18 из клееной фанеры укладывается на матрицы 8 и 7 и прижимается плитой 12, после чего пробивной пуансон 5 режущей кромкой начинает врезаться в обрабатываемую деталь и проходит отверстие размером меньше заданного на величину технологического...
Штамп для пробивки отверстий в неметаллическом листовом материале
Номер патента: 1706865
Опубликовано: 23.01.1992
Авторы: Мирзоев, Нешин, Пожилков
МПК: B27M 1/04
Метки: листовом, материале, неметаллическом, отверстий, пробивки, штамп
...плите 1 - винты 19,Штамп работает следующим образом, Заготовка 11 клееной фанеры укладывается на матрицу 2. При рабочем ходе полэуна пресса прижим 9 прижимает заготовку 11 к матрице 2, и фигурные наружные 6 и внутренние 7 ножи внедряются в заготовку 11, прорубая внутренний и внешний контуры. Часть получаемого отхода прижимается к подпятнику 3, а часть падает на нижнюю5 10 15 20 25 30 35 40 плиту 1, Наружные 6 и внутренние 7 ножи, пройдя заготовку по всей толщине, входят в зазор (1,5 - 2,0 мм) между матрицей 2 и подпятником 3 на 0,5 - 1,0 мм, обеспечивая пробивку фигурного отверстия беэ сдвига отхода, что исключает расслоение и расщепление слоев фанеры.После завершения рабочего цикла пуансон 5 возвращается в исходное положение, при этом...
Штамп для пробивки отверстий в неметаллическом листовом материале
Номер патента: 636084
Опубликовано: 05.12.1978
Автор: Брусин
МПК: B27M 1/04
Метки: листовом, материале, неметаллическом, отверстий, пробивки, штамп
...торец ложен нн)ке рабочего торца На чертеже показан штамп В разрезе.11 тМ 1 ддя робНВКН ОтвсрПй В цс ЕТсДЛЛС 1 О 11 ТОВ) М ЯГЕ(РДЛЕ СО;Е 1)ЖЦТустацов,)сццю цд цжней пл Ги;тр 1 цу 2 с (:("ев;м Отверстие.1, В кс)О)О) мсс.цовле рдз О,ерным.3 и; Дд(;роу но 5НОДЦЯТНК . РДООЧй ТОР(Ц сОДПЯТННКд рС 0,1 осжсн НЖЕ рбоцс) П)рц;:1матриы цд .1".- - О.,т мм.1) 1 е(1 н(еи,н к ГОГ 3) цпс.с:1 ,.е О.К д 3цВ С ) Х ;С ;1,1 Н Г , ;((.1 ) )стеле 5(: тировдц пробив О". Нудиоц б).10 В верхий цлцт( также сх(знт 1)ондц норсг- ством вц Гдцр жицой 8 цриж 1 1 з;ГОТОВКИ. В ПуанОНЕ СМОНтцрОВсц цодцру)ццсц ц ви )с) ь 1 Т(1 л кВатель 1 О. Б ни ж не 11 ц.1 НГ:зап 1(совдц 1;дцРдвлЯоп(с ко,Он1.РекуцН( р(кн и ансонд и м:т)1 Н 1ЗатОЕН Цг)Д ОтРИ,1;И. (О(ств -" НЕЦцо ....
Распылитель с сопловыми отверстиями на запорном конусе
Номер патента: 1822905
Опубликовано: 23.06.1993
Автор: Каракаев
МПК: F02M 61/06
Метки: запорном, конусе, отверстиями, распылитель, сопловыми
...согласно (6),При условиях(7) и (8) коэффициенты отражения уменьшаются по сравнению с (4) и (5), и согласно (6) уменьшается давление впрыскивания, однако сокращается продолжительность впрыскивания ( напр) из-за увеличения 1 с до 1 нс(7) или Гс до я (8), что также повышает эффективность впрыскивания изза повышения интенсивности впрыскивания, так как для дизелей одним из важнейших способов повышения экономичности работы является сокращение радар. в особенности ее конечной стадии, что сильнее проявляется по мере увеличения быстроходности дизеля, Например, при сокращении Ъпр. всего на 1 поворота кулачкового вала насоса (1 п,к.в.) зкономия топлива повышается на 2-3 о.Следует также отметить, что с увеличением диаметра сопловых...
Предыдущий патент: Устройство для передачи информации
Следующий патент: Способ изготовления свободной маски для проекционных электронно-и ионно-лучевых систем
Случайный патент: Устройство для очистки огарковобожженых анодов алюминиевых электро-лизеров