Криоадсорбционный насос

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТ ИЧЕСКРЕСПУБЛИК А(19 04 В 37/02 АССР 1111 г 1 У 1,ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ И у умныйнасоери 129. акуумить оса ельн тав с насоОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(57) Изобретение относится к вной технике и позволяет расширфункциональные возможности наспутем обеспечения его дополнитзащиты, а также защиты иных срвакуумирования, входящих в сосвакуумных установок совместно сом, от легкоконденсируемых газов .полости 7, образованной коаксиальнь цилиндрами 5 и 6 и заполненндагентом, расположен вакуум- (ВП) 9, огибающий внутреннийР 6 и имеющий форму полувитка спирали. Концы 10 и 11 ВП 9 герметично выведены из корпуса 1 через крышки 2 и 3 Радиус полувитка спирали больше диаметра ВП 9 и больше 1/6 шага спирали ВП 9 выполняет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой конденсируются легкоконденсируемые газы и пары. Форма и размеры ВП обусловле ны обеспечением оптической непрозрач ности противоположных его концов, 1 ил.Криоадсорбционный насос, содержащий цилиндрический корпус с верхнейи нижней крьппками и осевым входным 30 патрубком на одной из них, расположенный в корпусе сосуд, выполненныйв виде двух коаксиальных цилиндров,расположенных соосно входному патрубку и образующих между собой полость, З 5 заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра адсорбент, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюрасширения Функциональных возможнос-.40 тей путем обеспечения защиты насосаот легкоконденсируемых газов, онснабжен расположенным в полости вакуум-проводом, огибающим внутреннийцилиндр и имеющим концы, герметично 45 выведенные из корпуса через крышки,причем вакуум-провод имеет Форму полувитка спирали и размеры, опреде"ляемые следующими неравенствами:Кй;50 КЬбфгде К - радиус полувитка спирали;Й - диаметр вакуум-провода;Ь - шаг спирали. ВНИИПИ Заказ 3938/30 Тираж 574 Подписное Произв,-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 113Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криоадсорбционных вакуумных насосов,Целью изобретения является расширение Функциональных возможностей насоса путем обеспечения его дополни-,1 тельной защиты, а также защиты иных средств вакуумирования, входящих в состав вакуумных установок совместно с насосом, от легкоконденсируемых газов.На чертеже представлен насос, продольный разрез.Криоадсорбционный насос содержит цилиндрический корпусс верхней и нижней крьппками 2 и 3 и осевым входным патрубком 4 на одной из них, например на крышке 2, расположенный в корпусе 1 сосуд, выполненный и виде двух коаксиальных цилиндров 5 и 6, расположенных соосно входному патрубку 4 и образующих между собой полость 7,. заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра 6 адсорбент 8. Насос снабжен также расположенным в полости 7 вакуум-проводом 9, огибающим внутренний цилиндр 6 и имеющим концы 10 и 11, герметично выведенные иэ корпуса 1 через крьппки 2 и 3, причем вакуум-провод 9 имеет Форму полувитка спирали и размеры, определяемые следующими неравенствами:К)с 1;ЬКгде К - радиус полувитка спирали;Й - диаметр вакуум-провода;Ь - шаг спирали.Кроме того, на поверхности адсорбента 8 размещен пористый гаэопрони" цаемый экран 12 иэ высокотеплопроводйого материала, и на торце внутренне" го цилиндра 6, обращенном к входному патрубку 4, установлен шевронный экран 13.Насос работает следующим образом.В полость 7 между цилиндрами 5 и 6 заливается хладагент, и адсорбент 8 охлаждается до рабочей температуры, при которой интенсивно поглощает откачиваемый газ, поступающий в насос через входной патрубок 4. Одноврем -33833 2но с охлаждением адсорбента 8 осуществляется охлаждение вакуум-провода 9, который используется либо в качестве коммутации; соединяющей насосс откачиваемым объемомлибо в качестве коммутации, соединяющей откачиваемый объем с вспомогательным насосом. И в том и в другом случае ва куум-провод 9 выполняет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой происходит конденсация легкоконденсируемых газов и паров, например паров воды. Форма и размеры ва куум-провода обусловлены обеспечениемоптической непрозрачности противоположных его концов 10 и 11 и надежности защитных свойств.Таким образом, предлагаемый насос, 20 кроме Функции собственно насоса, выполняет также функции ловушки, т.е.его Функциональные возможности расширяются. 25 Формула изобретения