Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
)4 601 В 9 КОМИТЕТ СССРЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ГОСУДАРСТВЕННПО ДЕЛАМ ИЗО РЕТЕНИ 24-2845учно-исследовательской службыС. Пресняков еренционю изобретельности аций, приается интерщений. Це ение чувст зитных виб Ю СПИ САНИ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТ(71) Всесоюзный наинститут метрологиче(54) И НТЕРФ ЕРОНИЯ ЛИНЕЙНЫХЕКТА(57) Изобретение касных измерений перемтения является повышпутем устранения пар др. Применение ла роении и приборостро ние, 1987, с. 241.МЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪ,801275205 водящих к разъюстировке. Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 разделяется на два потока, один из которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на отражатель 4. Поток, отразившись от отражателя 4, попадает на отражатель 3, отразившись от которого, снова попадает на отражатель 3 и т. д, Так продолжается и раз, пока излучение не попадает на сечение отражателя 4, отразившись от которого излучение возвращается по тому же пути и попадает на свето- делитель 2, пространственно совмещаясь с потоком, отраженным от отражающего покрытия светоделителя 2. фотоприемник 5 воспринимает усредненную интенсивность интерференцион ного поля, по которой определяют величину перемещения. 1 ил.1275205 Формула изобретения Составитель Н. Захаренко Редактор Н. Тупица Техред И. Верес Корректор Л Пилипенко Заказ 6549/29 Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная. 4Изобретение касается интерференционных измерений перемещений, в частности перемещений при вибрациях.Цель изобретения - повышение чувствительности путем устранения паразитных вибраций, приводящих к разъюстировке.На чертеже представлена схема интерферометр а.Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2, два трехгранных уголковых отражателя 3 и 4, один из которых 4 установлен с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника 1, оба уголковых отражателя 3 и 4 смонтированы в другом потоке от светоделителя 2 диаметрально противоположно один другому, на отражателе 4 выполнено сечение с отражающим покрытием, параллельным основаник, фото- приемник 5, установленный в одном из потоков от светоделителя 2, который выполнен в виде куб-призмы на одну грань которой со стороны, противоположной источнику 1 излучения, нанесено отражающее п окр ыт ие. Интерферометр работает следуюгцим образом.Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 раздепяется на два потока, один из которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на отражатель 4,Поток, отразившись от отражателя 4, попадает на отражатель 3, отра.",ившись от которого, снова попадает на отражатель 3 и т. д. Так продолжаегся 12 раз, пока излучение не попадет на сечение отражателя 4, отразившись от которого излучение возвращается по тому же пути и попадает на светоделитель 2, пространственно совмещаясь с потоком, отраженным от отражающего покрытия светоделителя 2.Фотопр иеми ик 5 воспри ним ает усредненную интенсивность интерферирующего поля, по которой определяют величину пере мещения. Интерферометр для измерения линейных 15 перемещений обьекта, содержащий источникизлучения, светоделитель, делящий падающее от источника излучение на два потока, два трехгранных уголковых отражателя, один из которых установлен с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника, и фото- приемник, установленный в одном из потоков от светоделителя, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, свето- делитель выполнен в виде куб-призмы, на од ну грань которой со стороны, противоположной источнику излучения, нанесено отражающее покрытие, оба уголковых отражателя смонтированы в другом потоке от светоделителя диаметрально противоположно один другому, а на установленном с воз можностью перемещения отражателе со стороны вершины выполнено сечение с отражающим покрытием, параллельным основанию,
СмотретьЗаявка
3717834, 30.03.1984
ВСЕСОЮЗНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЙ СЛУЖБЫ
БАРАШ ВЛАДИМИР ЯКОВЛЕВИЧ, ПРЕСНЯКОВ ГЕННАДИЙ СТЕПАНОВИЧ, РЕЗНИКОВ АЛЕКСАНДР ЛЕОНИДОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений
Опубликовано: 07.12.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1275205-interferometr-dlya-izmereniya-linejjnykh-peremeshhenijj-obekta.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта</a>
Интерферометр для измерения поперечных перемещений
Номер патента: 1518663
Опубликовано: 30.10.1989
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, перемещений, поперечных
...который делит световойпоток на два, образуя плечи интерферометра, Один из лучей, отражаясьот зеркала 5, направляется параллельно второму световому потоку на прямоугольную равнобедренную призму 6, Затем отраженные от катетных граней прямоугольной равнобедренной призмы 6оба световых потока попадают на дифракционные решетки 7 и 8, каждаяиз которых установлена под автоколлимационным углом к световым потокам,После отражения от дифракционныхрешеток световые потоки возвращаютсяпо тому же оптическому пути на светоделитель 4, где световые потоки интерферируют и образуют на фотопри 55емнике 9 интерференционную картину,При поперечном перемещеныи объекта сустановленной на нем прямоугольнойравнобедренной призмой 6 световые лучи перемещаются по...
Интерферометр для измерения перемещений
Номер патента: 1525445
Опубликовано: 30.11.1989
Автор: Старков
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, перемещений
...по амплитуде полупрозрачным слоем на отраженный пучок ",б" и проходящий "в" внутрь призмы. Проходящий пучок "в" отражается на гранях полного внутреннего отражения и возвращается обратно на полупрозрачную поверхность. Отраженные пучки а и б направляются вдоль оси Х и падают на гипотенузную грань отражателя 4. Пучок "б" преломляется, отражается на гранях отразателя 4 и возвращается параллельно самому себе вновь на светоделитель 3, где встречается с пучком "в", Оба пучка "б" и "в" делятся вторично по амплитуде, интерферируют и создают две системы интерференционных полос в плоскостях регистрирующих блоков 6 и 7.Пучок "а" падает на гипотенуэную грань отражателя 4 в месте полупрозрачного слоя, где делится нм по амплитуде нв два равных...
Интерферометр для измерения перемещений
Номер патента: 1567869
Опубликовано: 30.05.1990
Авторы: Носов, Переходько, Стеблин
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, перемещений
...соединенными светоцувствительными площадками, в результате чего фотоприемник представляет собой два фотоприемника со светочувствительными площадками размером 1 Х 2 мм в об(цем корпусе.Устройство работает следующим образом.Луч От источника 1 когерентного излучения нона;шет в светоделитель 2 на полунрозрачнук) зону ), из которой он выходит н дву направлениях: луч а попадает на второй голкоиый отражатель 9 и луч в на нрн(,11 ОГковый отражатель 7. ОтразивИись Ог отражателей 9 и 7, лучи а и в ион(д( ОИа зеркальную 4 и прозрачную 5 зоны светоделителя 2 соответственно. ,1 ч а, Отразившись от зеркальной зоны 4, и луч в, прошедший прозрачную зону 5, с помошьк третьего уголкового отражателя 6 смешаются но высоте не менее, чем на диаметр...
Интерферометр для измерения перемещений
Номер патента: 934212
Опубликовано: 07.06.1982
Автор: Старков
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, перемещений
...перемещения отражателя 4. Направление измеряемого перемещенияна Фиг.1 указано двойной стрелкойоколо отражателя 4.Входная катетная грань, она жевыходная, обозначена на Фиг.2 соответственно индексамии 8.Сплошной линией со стрелками(фиг.1) показан ход лучей эталонного и рабочего пучков от покрытиядо крыши светоделителя 3.5 93Пунктиром со стрелкой показан ход лучей эталонного и рабочего пучков после отражения их от крыши.Интерферометр работает следующим образом.Пучок света от источника 1 моно- хроматического излучения расширяется телескопической системой 2 и падает на светоделитель 3.На входе светоделителя 3, на его полупрозрачной поверхности, пучок делится по амплитуде на рабочий- отраженный и эталонный - проходящий внутрь стекла....
Интерферометр для измерения перемещений
Номер патента: 1610249
Опубликовано: 30.11.1990
Авторы: Байков, Бржозовский, Игнатьев, Мартынов
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, перемещений
...излучаемого светового потока; Я частота модуляции. Часть луча с частотой в - Я, имеющая вертикальную поляризацию, отклоняется первым поляризационным светоделителем 3 на уголковый отражатель 6, пройдя через который, сме шивается на третьем светосоединителе 12 с неотклоненной первым поляриэационным светоделителем 3 частью луча, имеющей горизонтальную поляризацию и прошедший через уголковый отражатель 7, С выхода третьего светосоединителя 12 на второй 5 светоделитель 9 поступает луч, содержащий две составляющие с оптической разностью хода, равной половине длины когерентности источника излучения, и ортогональными поляризациями.Часть этого луча смешивается на втором светосоединителе 11 с частью луча, имеющего частоту излучения щ,...
Предыдущий патент: Емкостный датчик перемещений
Следующий патент: Устройство для бесконтактного измерения профиля объекта
Случайный патент: Гаситель вибрации