Способ контроля герметичности полых изделий

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН М 3/04 ЕН ДЕТЕЛЬСТВУ Н АВТОРСКОМ 1 Ь 4 й ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫ ПИСАНИЕ ИЗ(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение позволяет повысить достоверность контроля полых изделий, разгерметизация которых в процессе эксплуатациине допускается, путем обеспечения не.прерывной проверки работоспособности датчика утечки, размещенного в полости изде. 801224640 лия. В качестве датчика утечки используют датчик давления, выполненный в виде емкости . с упругим участком, которую за. полняют газом под давлением, превышающим давление газа в самой полости изделия, при этом газ в полость изделия подают под давлением, превышающим давление окружающей его среды. Измеряют величину выходного сигнала, полученного от деформации упругого участка до контроля изделия, определяя градуировочную характеристику датчика. Выдерживают изделия заданное время. Определяют изменение выходного сигнала упругого участка, по которому судят о степени герметично. сти изделия. 2 ил.1224640 25 Формула изобретения год фи игЯ Состав Текред И. Тираж 778 ИИПИ Государств по делам изобре 35, Москва, Ж - 35 Г 1 ПП Патент, г.тель Б Верес актин Корректор Л Подписное митета СССРРедактор М. ТовтинЗаказ 1914,40В имокосов енного ко тений и открытий Раушская наб., д. 4/5 Ужгород, ул. Проектная1130лиал Изобретение относится к способам контроля герметичности и может быть использовано для контроля герметичности полыхизделий, в частности герметизированныхмикросхем и микросборок,Цель изобретения - повышение достоверности контроля.На фиг. 1 изображена схема устройства, реализующего способ контроля герметичности полых изделий; на фиг. 2 - диаграмма показаний датчика давления в зависимости от состояния изделия.Устройство содержит установленный вполости изделия 1 датчик давления, выполненный в виде емкости 2 с упругим участком 3, на котором размещают преобразователь, например, тензосхему (не показана).Емкость 2 имеет полость 4, заполняемуюгазом, и крепится основанием 5 к внутренней поверхности изделия 1. Выводы 6 соединяют тензосхему с герметичными выводами 7, которые обеспечивают передачусигнала с датчика на аппаратуру измерения (не показана) выходного сигнала.Способ контроля герметичности осуществляют следующим образом.Предварительно производят градуировку и настройку тензосхемы датчика давления. При этом заполняют полость 4 емкости 2 газом под давлением Р, устанавливают выходйой сигнал датчика примерно на 10 - 20 о ниже номинального значения при равенстве давления Р 2 в полостиизделия 1 и Р в полости 4 емкостй 2. Затемопределяют выходные напряжений датчикапри номинальном давлении в полости изделия 1, при равенстве давления Р. в полостиизделия 1 давлению окружающей среды Рз,и при давлении окружающей среды Рз примерно равном нулю. При градуировке датчикаполучают диаграмму показаний датчика давления. Область А соответствует герметичности изделия, область Б - разгеметизации полости изделия до нормальногоатмосферного давления, область В - разгер.метизации полости изделия до вакуума иобласть Г - выходу из строя датчика давления, т. е. разгерметизации его внутреннейполости вне зависимости от состояния изделия 1,После градуировки датчика давленияего устанавливают в полость изделия 1,заполняют ее газом под давлением Р,1 О превышающим давление Рз окружающейсреды, но меньшим, чем давление Р 1 в полости датчика. Герметизируют изделие 1.После этого подают питание на тензосхемуи контролируют выходной сигнал датчика,15сравнивая его с градиуровочной характеристикой и диаграммой показаний.Изобретение позволяет повысить достоверность контроля путем непрерывногослежения за работоспособностью датчикадавления внутри изделия, так как опрессовка полости датч 14 ка давлением, превышающим давление газа в изделии, обеспечивает наличие постоянного контролирую 1 цего сигнала при любом давлении окружающей среды. Способ контроля герметичности полыхизделий, заключающийся в том, что в полости изделия размещают датчик давления, заполняют полость изделия газом под давлением, превышающим давление окружающей среды, и измеряют величину выходного сигнала датчика давления, по изменению которого судяо герметичности изделия, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности, в качестве датчика давления используют емкость, имеющую упругий у часток поверхности, которую заполняют газом, под давлением, превышающим давление в полости изделия. идти /ю