Тензорезисторный акселерометр

Номер патента: 1140048

Автор: Иориш

ZIP архив

Текст

(21 кии инст етрия. 553, 7 АКСЕЛЕРОупругую ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54)(57) ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЬМЕТР, содержащий плоскую двухконсольную балочку, прикрепленную к основанию в средней части,массы, укрепленные на концах консолей, и тензорезисторы, нанесенныев области крепления балочки, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения точности, вдоль консолей в средней части балочки выполнены две продольные сквозные прорези, крепление балочки к основаниюосуществлено в промежутке междупрорезями, а тензорезисторы нанесены по периферии балочки между прорезями и ее краями.Заказ 25634 Тираж 897 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Иосква Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных ускорений.Известен акселерометр, содержащий деформируемый элемент в виде консольной, балочки с закрепленной на ее конце инерционной массой и тензозлементом, наклеенным на балочку вблизи ее закрепленного конца 1 . 1 ОНедостатком этого устройства явля. ется его чувствительность не только к измеряемым линейным ускорениям, но и к угловым ускорениям, действующим вокруг точки подвеса, 15Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство в виде деформируемой балочки с двумя массами на ее кон-, цах, которая при помощи системы роли. 2 О ков прижимается в средней части к основанию. В средней части наклеены также две пары тензоэлементов сверху и снизу балочки. Такой акселерометр имеет повьппенную чувстви тельность, кроме того, в нем отсутствует реакция на вращательные воздейст вия 2 .Однако в современных устройствах . тензочувствительный элемент выполняется имплантацией необходимых атомов в материал упругого элемента. образующиеся при этом активные ,участки тензорезисторов расплываются и захватывают область крепления35 балочки к основанию, что изменяет сопротивление тензорезистора и отрицательно сказывается на постоянстве чувствительности акселерометра.Цель изобретения - повышение точности устройства.Указанная цель достигается тем, что в тензорезисторном акселерометре, содержащем плоскую упругую двухконсольную балочку, прикреплен ную к основанию в средней части, массы, укрепленные на концах консо 48 глей, и тензорезисторы, нанесенныев области крепления балочки, вдольконсолей в средней части балочкивыполнены две продольные сквозныепрорези, крепление балочки к основанию осуществлено в промежуткемежду прорезями, а тензорезисторынанесены по периферии балочки междупрорезями и ее краями.На чертеже схематически представлено устройство, общий вид.Акселерометр содержит упругийэлемент в виде балочки 1 с массами 2на концах, в средней части балочкивыполнены продольные прорези 3,отделяющие полоски-шунты 4 с нанесенными на них тензорезисторами отместа крепления балочки, осуществляемого с помощью стержня 5.Акселерометр работает следующимобразом,Под действием ускорения вдольстержня 5 на массы 2 балочка 1 деформируется. Эта деформация пропорциональна действующему на акселерометр ускорению и максимальна вобласти крепления балочки. Деформацииподвергаются также шунты 4 с нанесенными на них тензорезисторами,сопротивления которых изменяютсяв зависимости от величины деформации, при этом на величины сопротивлений тензорезисторов не оказываетвлияния место крепления балочки,отделенное от полосок-шунтов прорезями 3.Таким образом, благодаря наличиюпродольных прорезей любое прочноекрепление балочки не оказывает влияния на сопротивление тензорезисторов и не вносит погрешности в измерение акселерометром ускорения. Кроме того, при наличии полосок-шунтоввозможно проведение любых тонкихтехнологических операций по образованию на них тензорезисторов без по.:вреждения их мощньщ креплением.

Смотреть

Заявка

3627511, 19.07.1983

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ИНТРОСКОПИИ

ИОРИШ ЮЛИЙ ИОСИФОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01P 15/12

Метки: акселерометр, тензорезисторный

Опубликовано: 15.02.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1140048-tenzorezistornyjj-akselerometr.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тензорезисторный акселерометр</a>

Похожие патенты