Интерферометр для измерения линейных перемещений
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
( ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ЕРОМЕТР ЫХ ПЕР ник когере еподвижные каждом пл динитель стко связыв ом, и счетч , что, с цель я, источник связаны со из неподвиж виде пентап(54) (57) ИНТЕРФРЕНИЯ ЛИНЕИНсодержащий источсветоделитель и нуста новле нные врометра, светосоефотоприемник, жемещаемым объектотличающийся темточности измерениделитель жесткотелем, а каждыйтелей выполнен вкала..38А. В, Романо ектроники АН БС 8.8)свидетельство С 01 В 11/02, 1972. видетельство ССС 01 В 11/00, 1979. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТ1118852 1 Составитель В. Решетников Редактор М. Келемеш Техред И. Верес Корректор Л. Пилипенко Заказ 7415/28 Тираж 586 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в системах. станков с программным, управлением,Известен интерферометр, в котором светосоединитель и фотоприемник жестко связаны с перемещаемым объектом 1. Недостаток известного интерферометраобусловлен невысокой точностью измеренияиз-за изменения контрастности интерференционных полос при перемещении объекта.Известен также интерферометр, содержащий. источник когерентного света, светоделитель, неподвижные отражатели, счетчик импульсов и жестко связанные с перемещаемым объектом светосоединитель, диафрагму и фотоприемник 2.Недостаток данного интерферометра обусловлен изменением контрастности интерференционной картины при поперечном смещении объекта,Цель изобретения повышение точностиизмерения линейных перемещений путемстабилизации контрастности интерференционной картины.Поставленная цель достигается тем, чтов интерферометре для измерения линейныхперемещений, содержащем источник когерентного света, светоделитель и неподвижные отражатели, установленные в каждомплече интерферометра, светосоединитель,диафрагму и фотоприемник, жестко связываемые с перемещаемым объектом, и счетчикимпульсов, источник света и светоделительтакже жестко связаны со светосоединителем,а каждый из неподвижных отражателей выполнен в виде пентапризмы и зеркала. На чертеже дана схема предложенногоинтерферометра.Интерферометр содержит источник 1когерентного света, линзы 2 - 4 со светоделителем 5, неподвижные пентапризмы 6, 7 и зеркала 8, 9 в каждом плече интерферометра, светосоединитель 10, диафрагму 11, фотоприемник 12, счетчик 13 импульсов.Светосоединитель 10, диафрагма 11 и фото- приемник 12 жестко связываются с перемещаемым объектом 14, а источник 1 света и светоделитель 5 - со светосоединителем 10.Устройство работает следующим образом.Выходящий из источника 1 световой по ток проходит линзу 2, делится в светоделителе 5 на два плеча, а затем проходит линзы 3 и 4. Далее в каждом плече световой .поток проходит пентапризму 6 (или 7) и, отражаясь от зеркала 8 (или 9), попадает 20на светосоединитель 10. В результате совмещения обоих пучков светосоединителем 10 образуются интерференционные полосы.При продольном перемещении объекта 14 интерференционные полосы смещаются из-за изменения разности оптических путей, и это 25 смещение регистрируется счетчиком 13 импульсов при помощи диафрагмы 11 и фотоприемника 12. При поперечном же смещении объекта интерференционные полосы остаются неподвижными и их контрастность не ухудшается, что определяется жесткой связью источника 1 света и светоделителя 5 со светосоединителем 10, а также выполнением в каждом плече неподвижных отражателей в виде пентапризмы 6 (или 7) и зеркала 8 (или 9). Это позволяет повысить точность измерений не менее чем в 1,5 раза.
СмотретьЗаявка
3396210, 15.02.1982
ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОНИКИ АН БССР
САДОВ ВАСИЛИЙ СЕРГЕЕВИЧ, РОМАНОВ АЛЕКСАНДР ВЯЧЕСЛАВОВИЧ, ШЕСТАКОВ КОНСТАНТИН МИХАЙЛОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, линейных, перемещений
Опубликовано: 15.10.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1118852-interferometr-dlya-izmereniya-linejjnykh-peremeshhenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерферометр для измерения линейных перемещений</a>
Предыдущий патент: Устройство для определения деформации движущегося ленточного носителя
Следующий патент: Устройство для измерения скорости деформации
Случайный патент: Способ поверки мерильного механизма