Устройство для неразрушающего контроля диэлектриков и ферритов

Макееврудовоготвенныйого задаче лектрипласти1977 ССС 197 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Харьковский ордена ТКрасного Знамени государсуниверситет им. А.М,Горьк(56) 1.Зальцман Е,Б. и др. Ко неразрушающем измерении дической проницаемости пленокРадиотехника и электроникат. 22, Р 4, с, 831-835,2.Авторское свидетельствоР 779919, кл, 6 01 В 27/26,(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ ДИЭЛЕКТРИКОВ И ФЕРРИТОВ,содержащее генератор СВЧ, элементысвязи с отрезком запредельного волновода и индикатор частоты, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюповышения точности при измерении материалов произвольной Формы, в неговведен дополнительный отрезок запредельного волновода, пересекающий основной и служащий для размещения исследуемого материала.1117538 Составитель Т.ПероваТехред Т.дубинчак Корректор А,Тяско Редактор Н.Бобкова Заказ 7212/28 Тираж 710 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д.4/5Филиал ППП Патентф, г.ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к измерениюэлектромагнитных параметров материалов и может быть использовано длянеразрушающего контроля диэлектриков и ферритов с использованием СВЧ,Известно устройство для неразрушающего контроля тонких пластин, содержащее цилиндрический резонатор СВЧ,разрезанный по азимуту, йричем исследуемый образец расположен в щелимежду частями резонатора. Измеренияосуществляют при возбуждении аксиально симметричного Н ., типа колебаний ГЦ,Недостатками этого устройства яв-,ляются сложность процесса измеренияи погрешности, обусловленные излучением СВЧ энергии из щели, прямо пропорциональные толщине исследуемогообразца.Известно также устройство для неразрушающего контроля диэлектриков и 20ферритов, содержащее генератор СВЧ,элементы связи с отрезком запредельного волновода и индикатор частоты.Поперечное сечение отрезка запредельного волновода заполнено исследуемым образцом 2 .Однако иэвестноЕ устройство необеспечивает возможность проведениянеразрушающего контроля образцов,поперечные размеры которых больше 30поперечных размеров волновода, и необеспечивает достаточную точностьконтроля, так как позволяет определять лишь усредненное значение диэлектрической проницаемости всегообъема образца.Цель изобретения - повышение точности при.измерении материалов про-.извольной формыПоставленная цель достигается 4 Отем, что в устройство,.содержащеегенератор СВЧ, элементы связи с отрезком запредельного .волковода и индикатор частоты, введен дополнительный отрезок запредельного волковода,пЕресекающий основной и служащий дляразмещения исследуемого материала,Основным условием возникновениярезонансных колебаний является выборпоперечных размеров основного и пересекающего его отрезков волноводов,запредельными для рабочего диапазо-,на частот. На чертеже изображено предлагаемое устройство.Устройство содержит отрезок основного волновода 1 и пересекающийего дополнительный отрезок волновода 2. Отрезок волновода 2 заполненобразцом 3, форма поперечного сечения которого повторяет форму поперечного сечения отрезка волновода 2,В отрезок волновода 1 введены элементы 4 связи для возбуждения резонансных колебаний. Отрезок волновода 2 с образцом 3 и отрезок волново,ца 1 выбраны запредельными для рабочего типа колебаний.Устройство работает следующим образом,При помощи элементов 4 связи вволноводах 1 и 2 возбуждаются резонансные колебания, связь выбираетсятакой, что ее дальнейшее уменьшениене приводит к изменению резонанснойчастоты и добротности резонатора,Запредельность волновода 2 с образцом 3 и волновода 1 устраняет излучение электромагнитной энергии из резонансного объема в области сочленения волноводов. Перемещая образец 3относительно сочленения волноводов1 и 2, последовательно фиксируютзначение резонансной частоты, соответствующее локальным участкам объема образца, Различие резонансных частот отдельных участков свидетельствует об неоднородности материала, наличии микротрещин и т.д,Изобретение обеспечивает возможность проведения неразрушающего контроля, что особенно важно при контроле подложек для микросхем возможкость неразрушающего контроля образцов, имеющих различную форму и различные геометрические размеры, возможность локального определения электромагнитных характеристик отдельныхучастков образца, что позволяет судить о неоднородности материала, наличии микротрещин и т,д.При этом резонирующий объем предлагаемого уст- .ройства (область пересечения волно-.водов) можно сделать достаточно ма-.лым, что значительно повышает точность контроля по сравнению с известными устройствами,