Способ работы криогенного насоса

а09) (10СОЮЗ СОИЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН З(51) Г 04 В 37 ОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Ленинградский ордена ТрудовогоКрасного Знамени технологическийинститут холодильной промышленности(56) 1. Патент США3252291,кл. 62-55.5, опублик. 1966.2. Авторское свидетельство СССРМ 836384, кл, Р 04 В 37/08, 1979.(54) (57) СПОСОБ РАБОТЫ КРИОГЕННОГОНАСОСА, включающий конденсацию отка-чиваемого газа на криогенной панелии последующую регенерацию панели сконденсатом путем вывода ее из зоны;откачки и нагрева, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с .целью повышения экономичности, нагрев панелиосуществляют до температуры насыщения конденсата при давлении откачиваемого газа,1070333 Составитель О. ТишинаРедактор С. Юско Техредн.микешКорректор О, Билак Заказ 11 бб 2/35 Тираж 624 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП Патентф, г, Уж:ород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к вакуумной технике.Известен способ работы криогенного насоса, заключающийся в конден- . сации откачиваемого газа на криогенной панели Г 11. 5Недостаток способа состоит в том, что для того, чтобы обеспечить пренебрежимо малое испарение с поверхности ранее сконденсированных молекул газа, процесс конденсации ведут 10 при большом перенасьацении, т.е. температуру панели поддерживают значительно более низкой, чем температу" ра насыщения откачиваемого газа при давлении откачки. 15Известен способ работы криогенного насоса, включающий конденсацию откачиваемого газа иа криогенной панели и последующую регенерацию панели с конденсатом путем вывода ее из эоны откачки и нагрева С 21. 20Удаление конденсата в известном способе требует нагрева криопанели до температуры значительно более высокой, чем температура насыщений конденсата при давлении от качиваемого газа. Повышение температуры регенерируемой криопанели приводит к повышению расхода криоагента на повторное охлаждение ее до исходной температуры. 30Цель изобретения - повышение экономичности еУказанная цель достигается согласно способу работы криогенного насоса, включающему конденсацию откачиваемого газа на криогенной панели и последующую регенерацию панели с конденсатом путем вывода ее из зоны откачки и нагрева, нагрев панели осуществляют до температуры насыщения конденсата при давлении откачиваемого газа.На чертеже изображен криогенный насос, реализующий предлагаемый способ.45 Насос содержит корпус 1 с размещенной в нем криогенной панелью, вы-, полненной в виде барабана 2 с ребрами 3. Криогенная панель окружена эк 50 раном 4. На входе в насос размещен алюзийный экран 5.Откачиваемый газ проходит через жалюзийный экран 5, охлаждаемый жидким азотом, и снижает свою температуру до 80. - 100 К. Затем откачиваемый газ конденсируется на нижней половине панели, барабан 2 которой наполовину заполнен иизкотемпературным хладагентом, например жидким неоном. При давлении более 10Па состояние откачиваемого газа по отношению к температуре криогенной панели (27 К) характеризуется как перенасыщенное и образующийся конденсат будет иметь сильно пористую структуру и низкий коэффициент теплопроводности. При вращении барабана 2 вокруг своей оси ребра 3, поднятые вверх, будут отепляться вследствие теплопритока от экрана 4. Соответственно будет повышаться температура конденсата, расположенного на них. Степень повышения температуры конденсата на ребрах 3 регулируется скоростью вращения барабана 2 и доводится до температуры насыщения, соответствующей давлению откачиваемого газа. При этом происходит перекристаллизация конденсата и повышается его теплопроводностьДальнейший поворот барабана 2 приводит к охлаждению жидким хладагентом ребер 3 и конденсата на них до ис-, ходной температуры и к возвращению поверхности конденсации вновь в зону откачки.В случае давления откачиваемого газа равном 10 Па периодический нагрев конденсата до температуры насыщения приводит х укрупнению кристал-. лов более чем на порядок и к увеличению коэффициента теплопроводности конденсата в 2-3 раза.Таким образом, предлагаемый способ работы вакуумного криогенного на соса позволяет более чем вдвое снизить термическое сопротивление слоя конденсата, тем самым замедлить скорость падения интенсивности откачки с ростом его толщины и повысить экономичность за счет сокращения расхода хладагента.