Способ измерения толщины пленок

Номер патента: 277267

Авторы: Батырев, Казанский, Косинский, Кусов, Тимошенко

ZIP архив

Текст

277262 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Реслублик, 42 Ь, 12/О исоединением заявкиМПК 6 01 Ь 15/02х ДК 531,717.11(088.8 Комитет оо деламиаобрвтений и открытиори Совете МииистроСССР риоритет публиковацо 22.Ч 11,1970. Бюллетень2 Дата опубликован описания 20.Х.19 авторызобретения; ту явител 11 ь 110 ТЕК СПОСОБ ИЗ 1 т 1 ЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЪ ПЛЕ анализирует этот разности соседник дцт минимальное 1 нце инфракрасного олпруемого матер полученным завис олщина определяю пленки. Электронная схемаотмеая Величинуна которых проискспмальцое поглощенпя в толще контрэкспериментальноразность частот -ну контролируемой сигнал, частот, ли мак- цзлучсала. По имостя м т толщцедмет изобретени Батырев, И. Н. Казанский С, А. Сироткин и Известный способ измерения толщины плснок, заключающийся в том, что через контролируемое изделие пропускают поток инфракрасного излучения, измеряют степень его поглощения и по степени поглоцения определяют его толщину, це обладают неооходимов некоторых случаях точностью.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что, в целях повышения точностиизмерения, изменяют частоту инфракрасного 1излучения, измеряют разность соседних частот, на которых происходит минимальноеили максимальное) поглощение излучения,ца основании опытно полученных зависимостей разность частот - толщина определякгг 1толщину контролируемого изделия.Сущность способа заключается в следующем,Контролгруелуо пленку облучают источником инфракрасного излучения, расположенным с одной стороны пленки, изменяя в процессе контроля частоту излучения. Приемникпрошедшего через контролируемое изделиеизлучения, расположенный с другой стороны,вырабатывает сигнал, пропорциональный ему, 2 В. Косинский, Ю, ф, КусовП, Тимошенко Способ измерения толщины пленок. заключающийся в том, что через контролируемое изделие пропускают поток инфракрасного излучения, измеряют степень его поглощения и по степени поглощения определяют его толщину, опгича оша 1 ся тем, что, с целью повышения точности измерения, изменяют частоту инфракрасного излучения, измеряют разность соседних частот, на которых происходит минимальное (или максимальное) поглощение излучения, и на основании опытно полученных зависимостей разность частот - толщина, определяют толщину контролируемого изделия.

Смотреть

Заявка

1344409

Р. И. Батырев, И. Н. Казанский, А. В. Косинский, Ю. Ф. Кусов С. А. Сироткин, К. П. Тимошенко

МПК / Метки

МПК: G01B 15/02

Метки: пленок, толщины

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-277267-sposob-izmereniya-tolshhiny-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения толщины пленок</a>

Похожие патенты