Способ электроннолучевого напыления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П И С А Н И Е (и 213553 Союз Советских Социалистицеских РеспубликИЗОБРЕТЕНИЯ 61) Дополнительное к авт 51) М. Кл. В 23 К 23/ Заявлено 14,0 1) 1101360/2 аявкис присоедине оеударстеенныи номнтеСовета Министров СССоо делам иэооретенийи открытий(45) Дата опубликования описания 18,11.76нс вител 54) СПОСОБ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕ НАПЫЛЕНИ Известен способ электронно-л пыления металлических пленок, напыляемый металл испаряется лучом, создаваемым между ано чевого наи котором лектронным ом и катоения мула и Способ электроннол ого напыления ленок, при котором ческих спарени лучом м, о ета апыляемого металла элек влятот и дом здаваемым между ичаюшийс тронным и катод что, с тем, ости ю повышения производи дополнительно сомежду анодом и к дуговой разряд. Предлагаемый способ электронно-лучевого напыления более производителен благодаря тому, что между анодом и катодом дополнительно создают дуговой разряд.Сушность способа заключается в следую ршем. В начальной стадии процесса при бомбардировке испаряемого материала электронами над его поверхностью создается облако пара, состояшего из нейтральных атомов, положительных ионов и вторичных электро- д нов, образовавшихся при ионизации в результате столкновений первичных электронов, эмитируемых на вольфрамовом катоде, с атомами пара.Положительные ионы благодаря их малой 0 подвижности и длительному пребыванию в обьеме нейтрализуют отрицательный просъранственньтй заряд катода, который размептается вблизи испаряемого материала, анода.В результате появляется еше больше элек-И 2тронов. 11 авттнообразное развитие этого процесса повышает степень ионизации в межэлектродном промежутке; создаются условия для образования в нем дугового разряда, характеризующегося большим током и малым падением напряжения в разрядном промежутке. Так, например, при испарении меди предложенным способом ток в разряде равнялся 1,2 а, а напряжение 0,3 кв.Под действием дугового разряда, поддерживаемого электронной бомбардировкой, скорость испарения возрастаетна несколько порядков.
СмотретьЗаявка
1101360, 14.09.1966
ИНСТИТУТ МЕТАЛЛУРГИИ ИМЕНИ А. А. БАЙКОВА, НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
НИКИТИН М. М, КЛЕБАНОВ Г. Н, РЫКАЛИН Н. Н, ШОРШОРОВ М. Х, ДЕМИН Е. П, ПОПОВИЧ Б. А
МПК / Метки
МПК: B23K 23/00
Метки: напыления, электроннолучевого
Опубликовано: 25.08.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-213553-sposob-ehlektronnoluchevogo-napyleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ электроннолучевого напыления</a>
Предыдущий патент: Установка для стопочной безопочной формовки
Следующий патент: Канатовьющая машина
Случайный патент: Струйный регулятор расхода