ZIP архив

Текст

Сои Сплетение Соииалиотнчеоиии Республик(088.8) Комитет по делам обретении и открытири Совете МиииотроеСССР юллетень М Опубликовано 15.1 Ч.196 ата опубликования описания 2 У 1.19 С 11 ОСОВ ИНДИКАЦИИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯ 5 редмет изобретения с присоединением заявкиПриоритет Среди многочисленных факторов, влияющих на разрешающую способность электронного микроскопа, существенным является стабильность высоковольтного источника. Одной из причин нестабильности высокого напряжения, подаваемого на электродную пушку микроскопа или аналогичного прибора, является возникновение разряда в пушке, (например, вследствие загрязнения электродов и изолятора). Величина тока разряда, существенно снижающего разрешение, примерно на два порядка меньше общего тока высоковольтного источника, и поэтому ток не может быть обнаружен непосредственно по прибору, измеряющему общий ток. Кроме того, нестабильность общего тока высоковольтного выпрямителя может быть вызвана не только разрядом в пушке, но и рядом других причин, Таким образом, обнаружение нестабильности тока пушки не дает достаточных сведений о наличии разряда.Для повышения надежности индикации разряда и оценки тока разряда измеряют интенсивность рентгеновского излучения, возникающего при разряде. Для измерения интенсивности рентгеновского излучения может быть использована стандартная дозиметрическая аппаратура, чувствительная к излучению с соответствующей энергией. При этом датчик дозиметра (например, счетчик частиц) должен быть расположен около пушки так, чтобы тормозное рентгеновское излучение основного электронного пучка (если пучок гделибо ограничивается) не попадало на датчик. Датчик может быть расположен внутри корпуса пушки или вне его. В последнем случае, если в конструкции пушки не предусмотрено окно для выхода излучения, чувствительность способа обнаружения зависит от поглощения излучения корпусом пушки, что должно быть учтено при измерениях,Способ индикации электрического разряда и оценки его величины в электронных пушках электронных микроскопов и других аналогичных приборах, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности индикации, измеряют интенсивность тормозного рентгеновского излучения разряда, причем датчик, чувствительный к рентгеновскому излучению, располагают с наружной или внутренней стороны корпуса пушки так, чтобы тормозное излучение основного пучка электронов на него не попадало.

Смотреть

Заявка

889065

П. А. Сто нов, И. С. Ренский

МПК / Метки

МПК: H01J 37/06, H01J 37/26

Метки: 181196

Опубликовано: 01.01.1966

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-181196-181196.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">181196</a>

Похожие патенты