Носитель информации для маркировки

Номер патента: 350680

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Борецкий, Заводько, Замбровский, Мамаев

МПК: B05B 15/06

Метки: методом, нанесения, пленок, пульверизации, тонких

...15 с разъемным кольцом 16, Конец водила 15 введен во внутреннее кольцо подшипника 17, вмонтированного в эксцентрик 18. Эксцентрнк 18 закреплен на выходном валу редуктора 19. Передача движения редуктору 19 осуществляется от электродвигателя 20. Кольцо 21 с продольными канавкамп закрепляется на корпусе распылителя 3, По канавкам кольца 21 совершают перемещение подпружиненные шарики 22, вмонтированные во фланец 23 корпуса камеры 1. Для герметизации ввода распылителя 3 в камеру 1 используется диафрагма 24,Нагреватель 4 оплавления (фиг, 3) жестко закреплен на корпусе, камеры 1 и состоит из корпуса 25 и камеры 2 б нагрева с лампами 27,350680 1 Через штуцсры 28 подводится сжатый воздух для подъема и опускания камеры 26. Для предотвращения...

Номер патента: 563826

Опубликовано: 05.03.1978

Авторы: Осипов, Саблев, Ступак

МПК: C23C 15/00

Метки: нанесения, пленок, тонких

...на фиг. 2 конфигурация магнитных полей в камеУстройство длпленок работаетНапыляемые изваются на крышкумакрочастиц от кпрямолинейно, неПитание соленоидется от разных иВоздух из вакчивается до давл10 мм рт,ст. Черется ток, создающ50-200 Э, достаткатодного пятна 5 р 72) Авторы изобретения л,п. я нанесения тонкихследующим образом.делия 9 устанавли 2 так, чтобы потокатода 4, движущийсямог попасть на них,ов б и 7 осуществлясточников,уумной камеры 1 откаения порядкаез соленоид б усий магнитноеочное для удерна торце катодЧерез соленоид 7 пропускается ток, создающий магнитное поле 20-50 Э. На камеру 1 подается напряжение 40-80 В относительно катода 4, на крышку 2-30 В. При этих параметрах конфигурация магнитных полей имеет 5 вид, показанный...

Номер патента: 751256

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Чуйко, Якубинская

МПК: B04B 5/00, H01L 21/00

Метки: нанесения, пленок, тонких

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, например пленок фоторезиста на подложки, включающий нанесение на подложку раствора фоторезиста, центрифугирование подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества нанесения на подложку раствора фоторезиста, край стороны подложки, на которую наносят раствор, скругляют по всему периметру.

Номер патента: 1090761

Опубликовано: 07.05.1984

Авторы: Ажогин, Воробьев, Высоцкая, Курилович, Особенкова

МПК: C25D 9/08

Метки: защитных, катодного, нанесения, пленок, раствор, сплавы, титановые

...нерастворимого фосфата цинка и железа (11).Содержание монофосфата цинка ниже 15 г/л приводит к образованию наповерхности титанового сплава тонкихнесплошных оксалатных пленок. Повышение концеитрации монофосфата цинка выше 20 г/л не улучшает качествооксалатных пленок.С целью окисления осаждающегосяна дне ванны избытка оксалата железа (11) - РеС 204 в ванну добавляютнерастворимую двуокись марганца,2 Ресг 04+4 Н 2 С 20 +Мпог+2 НР =:2 Н ( Ре (С 204) (+МпР 2+2 Н 20.Рекомендуемая концентрация двуокиси марганца (5-7 г/л) превышаетэквйвалентное количество (3 г/л) ирассчитана на длительное использование электролита т.е. повышает егоработоспособность,Получению качественных пленок способствует введение в раствор активаторов - фторида...

Номер патента: 1708919

Опубликовано: 30.01.1992

Авторы: Закутаев, Исаков, Ремнев

МПК: C23C 14/46

Метки: вакуумного, нанесения, пленок, тонких

..., тонких пленок, При этом подложку можно размещать на небольшом расстоянии от мишени, что в свою очередь сокращает время осаждения и увеличивает скорость осаждения пленки. Нижний пре" дел плотности мо 4 ности пучка определяется как необходимый для испарения 35 мишени на глубину пробега ионов, ниже которого снижается эффективность плаз" мообразования, и соответственйо качество пленок.Для того, цтобы уменьшить потери энергии за счет теплопроводности необходимо, цтобы длина пробега ионов 1 е,была больше или сравнима с расстоянием, на которое распространяется тепловая волна за время действия импульса йц, так как:ф1 о г (ф("Й) (1) 19,"ЪП р и м е р. Для распыления использовали мишени из кадмия и меди..В таблице приведены рассчитанные...