Способ управления процессом осаждения

Номер патента: 1705700

Опубликовано: 15.01.1992

Авторы: Александров, Кацнельсон

МПК: G01B 11/06

Метки: вакуумной, камере, многослойного, напыления, оптического, осаждением, пленок, покрытия, процессе, толщины

...дорожкой 3 модулятора 2, а излучение, прошедшее оптический канал сравнения - кодирующей дорожкой 4,Выделяемый блоком 32 монохроматизации поток излучения с длиной волны Ао подается в фотоприемную систему 33, которая содержит фотоприемник, например фотоэлектронный умножитель либо фоторезистор, усилитель, АЦП и временной селектор каналов (ВСК), Фотоэлектрический сигнал усиливается и после АЦП в цифровом виде поступает в ВСК, расположенный на выходе фотоприемной системы 33, Кроме того, на два управляющих входа ВСК подаются опорные сигналы с ГОН 5 и 6. Сигналы с ГОН 5 совпадают по фазе с сигналами, снимаемыми с фотоприемника при попадании на него лучистого потока. пропущенного образцом 22 с контролируемой пленкой. Сигналы с ГОН 6 фазированы...

Номер патента: 846611

Опубликовано: 15.07.1981

Авторы: Галан, Костюк, Краснопрошина

МПК: C25D 21/12

Метки: гальванического, осаждения, покрытийв, процессе, толщины

...При поступлении на вход в измерительного блока 9 отключающего импульса (, с выхода генератора 10 переключающих импульсов входы а и б этого блока отключаются от измерительной схемы. Этот же импульс дает команду исполнительному органу 11 на вывод электрода-свидетеля 8 из измерительной 4 и генераторной 6 катушек. Эти операции выполняются периодически через одинаковые интервалы времени Т. Таким образом на выходе г измерительного блока 9 формируется сигнал Б 5, пропорциональный толщине гальванического покрытия, который поступает на индикатор. При равенстве сигналов 11, эталонного и Б измерительного накладных экранных вихретоковых преобразователей 1 и 2 на выходе д измерительного блока 9 появляется сигнал на окончание процесса. Временная...

Номер патента: 789640

Опубликовано: 23.12.1980

Авторы: Галан, Костюк, Краснопрошина

МПК: C25D 21/12

Метки: гальванического, осаждения, процесса

...эти вкоды.40Предлагаемое устройство позволяетпростыми средствами контролироватьскорость осаждения материала на детали, что обеспечивает возможность вводить коррекцию технологического режима в процессе нанесения покрытия. Этоприводит к значительному улучшению качества покрытия, снижает брак, повышает производительность труда за счетавтоматизации контроля качества изделий. - 50 3 78Установка состоит из эталонного 1 и нзмерительного 2 накладных экранных вихретоковык преобразователей, выходы которых подключены к сравнивающему устройству 3, генератора 4 тактовых импульсов, устройства 5 задержки, запоминающего устройства 6 и измерителя 7 приращения сигнала, подключенных к выходу с равниваюшего устройства и фильтра 8. Второй вход измерителя 7...

Номер патента: 885368

Опубликовано: 30.11.1981

Авторы: Кочкин, Шабельский

МПК: C25D 21/12

Метки: осаждения, процессом, электрофоретичекого

...3сравнения и рабочего электрода 1,вследствие чего оптимизируются технологические параметры электрооретического осаждения, и на клапан дозатора 9 не поступает импульса отэлектродов (состояние "закрыто")Число ступеней регулирования подачи материала в ванну до выравниваниязначений потенциалов начала растворения эталонного и рабочего образцов может быть практически любым.Принцип регулирования процессомэлектроЬоретического осаждения сводится к тому, что изготавливают эталонные и рабочие образцы - свидетели одинаковой конфигурации и площади, производят полный цикл подготовки поверхности эталонных образцов,измеряют с помощью устройства ихпотенциалы начала растворения; устанаВливают для них допустимую область значений потенциалов начала...

Номер патента: 340133

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гер, Германска, Иностранное, Иностранцы, Петер

МПК: C25B 9/02

Метки: вводов, уплотнения, электродов, электролизерах12

...например резиновое, и на прижимных кольцах по меньшей ме. ре одного ряда электродов размещены прижимные рычаги,На чертеже показано описываемое устройУстроиство состоит из прижимного рычага 1, окружающего электрод 1 прижимного кольца 3 и двух уплотнительных колец 4 и 5, лежащих на электродном держателе б, а также болта 7, проходящего через прижимной рычаг.Уплотнительные кольца 4 и 5 обладают различными свойствами и размерами, причем кольцо 4 имеет больший диаметр, чем кольцо 5, вследствие того, что кольцо 4 переносиг оказанное на него прижимным кольцом 3 усилие на кольцо 5, обеспечивает жесткое закрепление электрода 2 и удерживание его в фиксированном положении. Поэтому уплотнительное кольцо 4 должно быть малоэластичным. Поскольку...