Способ для лазерно-стимулированного травления фосфида индия

Номер патента: 1715136

Авторы: Дикаев, Милявский, Яссен

Описание

Состав для лазерно-стимулированного травления фосфида индия, содержащий водный раствор плавиковой кислоты, отличающийся тем, что, с целью снижения мощности стимулирующего излучения при одновременном повышении скорости травления, состав дополнительно содержит бромат калия при следующем количественном содержании компонентов, моль/л:
Плавиковая кислота - 0,045 - 18
Бромат калия - 0,0008 - 0,32

Заявка

4787564/25, 01.02.1990

Институт радиотехники и электроники АН СССР

Дикаев Ю. М, Милявский Ю. С, Яссен М. Л

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: индия, лазерно-стимулированного, травления, фосфида

Опубликовано: 20.06.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1715136-sposob-dlya-lazerno-stimulirovannogo-travleniya-fosfida-indiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ для лазерно-стимулированного травления фосфида индия</a>

Похожие патенты