Способ для лазерно-стимулированного травления фосфида индия
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Плавиковая кислота - 0,045 - 18
Бромат калия - 0,0008 - 0,32
Заявка
4787564/25, 01.02.1990
Институт радиотехники и электроники АН СССР
Дикаев Ю. М, Милявский Ю. С, Яссен М. Л
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: индия, лазерно-стимулированного, травления, фосфида
Опубликовано: 20.06.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1715136-sposob-dlya-lazerno-stimulirovannogo-travleniya-fosfida-indiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ для лазерно-стимулированного травления фосфида индия</a>
Предыдущий патент: Способ производства заготовок
Следующий патент: Способ определения интегральной дозы гамма-облучения
Случайный патент: Гидродинамический демпфер опор роторов