Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы

Номер патента: 1507132

Автор: Елисеев

Описание

Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы, включающий снятие окисла во фтористоводородной кислоте и формирования защитного окисла в растворе, содержащем соляную кислоту, перекись водорода и воду в соотношении 3 : 1 : 1, отличающийся тем, что, с целью снижения уровня углеродных загрязнений в защитном окисле, после снятия окисла во втористоводородной кислоте образец кремния обрабатывают электрохимически в водном растворе соляной кислоты в соотношении 1 : 3 в течение 45 - 60 мин, причем образец кремния используют в качестве катода, при плотности тока на образце 50 - 100 мА/см2, после электрохимической обработки в раствор добавляют перекись водорода и в этом растворе формируют защитный окисел.

Заявка

4289640/25, 30.06.1987

Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР

Елисеев В. М

МПК / Метки

МПК: H01L 21/306

Метки: атмосферы, загрязнений, защиты, компонентами, кремния, поверхности, углеродсодержащими

Опубликовано: 20.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1507132-sposob-zashhity-poverkhnosti-kremniya-ot-zagryaznenijj-uglerodsoderzhashhimi-komponentami-atmosfery.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы</a>

Похожие патенты