Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1507132
Автор: Елисеев
Описание
Заявка
4289640/25, 30.06.1987
Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР
Елисеев В. М
МПК / Метки
МПК: H01L 21/306
Метки: атмосферы, загрязнений, защиты, компонентами, кремния, поверхности, углеродсодержащими
Опубликовано: 20.11.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1507132-sposob-zashhity-poverkhnosti-kremniya-ot-zagryaznenijj-uglerodsoderzhashhimi-komponentami-atmosfery.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ защиты поверхности кремния от загрязнений углеродсодержащими компонентами атмосферы</a>
Предыдущий патент: Мазер на циклотронном резонансе
Следующий патент: Лазерно-плазменный источник ионов
Случайный патент: Стеллаж для выращивания лианообразных растений