Способ определения содержания мелкозалегающей примеси в фоторезисторах
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ МЕЛКОЗАЛЕГАЮЩЕЙ ПРИМЕСИ В ФОТОРЕЗИСТОРАХ , включающий измеpение вольтампеpной хаpактеpистики пpи подаче на фотоpезистоp напpяжения смещения и опpеделение по ней напpяжения, соответствующего pезкому возpастанию тока, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности опpеделения полного содеpжания мелкозалегающей пpимеси в пеpекомпенсиpованном глубокозалегающей пpимесью полупpоводнике пpи пpоизвольном пpофиле pаспpеделения мелкозалегающей пpимеси, дополнительно снимают вольтампеpную хаpактеpистику пpи подаче на фотоpезистоp напpяжения смещения пpотивоположной поляpности и опpеделяют напpяжение, соответствующее pезкому возpастанию тока, а полное содеpжание мелкозалегающей пpимеси находят по фоpмуле
M = 
N(x)dx = 
(V(+)+V(-)),
где V+, V- - напряжения, соответствующие резкому возрастанию тока на вольтамперной характеристике фоторезистора при разных полярностях напряжения смещения;
Nx - локальная концентрация мелкой примеси, где x - координат точки в направлении, перпендикулярном плоскости контакта фоторезиста;
l - толщина активной области фоторезистора;
e - абсолютная величина заряда электрона;
- диэлектрическая проницаемость полупроводника.
Описание
Цель изобретения - обеспечение возможности определения полного содержания мелкозалегающей примеси при ее произвольном профиле распределения.
П р и м е р. В полупроводниковую пластину p-типа проводимости осуществляют загонку мелкой донорной примеси и формирование фотосопротивления. В результате измерения вольтамперной характеристики (ВАХ) при одной полярности напряжения смещения определено заполнение ловушек V(+) = 16,8 В. Затем проводят измерение ВАХ при другой полярности напряжения смещения и определяют напряжение предельного заполнения ловушек V(-) = 4,14 В. По значению высокочастотной емкости С = 21 пф определяют толщину компенсированной области l =
5 
10-4см, где - диэлектрическая проницаемость полупроводника; l - толщина активной области фоторезиста; e - абсолютная величина заряда электрона.Полное содержание мелкой примеси в активной области находят по формуле
М =
(V(+) + V(-)) и полученное значение М = 2,3 1011 см-2. (56) Атомная диффузия в полупроводниках. Под ред. Д. Шоу, М. : Мир, 1975, с. 213.Ламперт М. , Марк П. Инжекционные токи в твердых телах. М. : Мир, 1973, с. 93.
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в технологии изготовления полупроводниковых приборов. Цель изобретения - обеспечение возможности определения полного содержания мелкозалегающей примеси при ее произвольном профиле распределения. Согласно изобретению на фоторезисторе измеряют дважды вольтамперную характеристику при подаче на фоторезистор напряжений смещения противоположных полярностей и определяют напряжения, соответствующие резкому возрастанию токов. Эти напряжения соответствуют напряжениям предельного заполнения ловушек. Полное содержание мелкой примеси в активной области находят расчетным путем.
Заявка
3717776/25, 02.04.1984
Зыков Н. В, Сурис Р. А, Фукс Б. И, Гонтарь В. М, Фетисов Е. А, Хромов С. М
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: мелкозалегающей, примеси, содержания, фоторезисторах
Опубликовано: 30.03.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1385935-sposob-opredeleniya-soderzhaniya-melkozalegayushhejj-primesi-v-fotorezistorakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения содержания мелкозалегающей примеси в фоторезисторах</a>
Способ измерения электропроводности кожи в области биологически активных точек
Номер патента: 1801472
Опубликовано: 15.03.1993
Авторы: Евтушенко, Левченко, Пархоменко
МПК: A61H 39/02
Метки: активных, биологически, кожи, области, точек, электропроводности
...путем нажатия кнопочного переключателя замыкают электрическую цепь. Через 2 - 3 с. считывают со шкалы прибора значение электропроводности кожи в условных Единицах (микроамперах), отпускают кнопку переключателя (размыкая электрическую цепь), а затем снимают с точки активный электрод. Результат в графическом виде наносят на шкалу в соответствующей графе диагностической таблицы (4). Аналогичную процедуру выполняют и с другими точками. Затем вычисляют. среднюю арифметическую всех измерений и откладывают на двух крайних шкалах. Затем выше и ниже каждой иэ этих двух точек на расстоянии 7 мм откладывают еще по две точки, соединяя их горизонтальными линиями, пересекающими все графы. Этими линиями ограничивается так называемый "физиологический...
Способ определения действительных содержаний примесей в пробах
Номер патента: 1469389
Опубликовано: 30.03.1989
Автор: Шаевич
МПК: G01N 21/17
Метки: действительных, примесей, пробах, содержаний
...- содержания, принадлежащиек области относительно высоких значений - вплоть до десятых долей процента.Измеряются оптические плотностирастворов вещества стандартных об"разцов, зависящие от содержания вних примеси, в тех же условиях, чтои при регистрации соответствующегоаналитического сигнала от пробы,Вначале регистрируются аналитические сигналы применительно к стандарт"ным образцам с минимальными содержаниями, а затем - применительно кстандартным образцам с относительновысокими содержаниями. Такая последовательность обусловлена тем, чтообразцы с минимальныя содержаниямипримеси ближе по своим характеристикам к пробе.Результаты анализов веществастандартных образцов каждого типана содержание примеси сравниваютсяс аттестованными значениями...
248451
Номер патента: 248451
Опубликовано: 01.01.1969
Авторы: Аронин, Архангельский, Гавриленко, Ключанский, Кобзев, Лапин, Петров, Полканов, Проскурин
МПК: B23D 25/06, B26D 5/08
Метки: 248451
...возможно попадание окалины на трущиеся части режущих механизмов, расположенных на нижнем транспортере.В описываемых ножницах каждая пара 25взаимодействующих ножей, установленныхна шарнирно закрепленных рычагах, расположена в одном блоке. На транспортере с необходимым шагом, равным длине отрезаемой заготовки, установлено соответствующее количество блоков. Размещение режущих элементов на одном транспортере упрощает устройство, делает возможной полную отрезку заготовки и исключает возможность попадания окалины на трущиеся части режущих механизмов.На фиг. 1 схематично изображена конструкция предлагаемых ножниц; на фиг. 2 - блок с ножами.Ножницы содержат рольганг 1, цепной транспортер 2 с установленными на нем блоками 3 и жестко...
Способ прогнозирования течения инфаркта миокарда
Номер патента: 1673978
Опубликовано: 30.08.1991
Авторы: Власенко, Дикун, Копица, Сокрут, Яблучанский
МПК: G01N 33/68
Метки: инфаркта, миокарда, прогнозирования, течения
...миоглобина 116 нг/мл, активность КК 14 Ед/л, в последующем содержании миоглобина и активность КК были соответственно в 7 ч от начала ИМ 277 и 31, через 9 ч 644 и 48, через 11 ч 513 и 63, через 13 ч 212 и 74, через 15 ч 183 и 98, через 17 ч 165 и 86, через 19 ч 127 и 64,Таким образом, максимальный уровень миоглобина отмечен к 9 ч заболевания, а максимальная активность КК - к 15 ч ИМ, Временной промежуток между моментами наступления максимума содержания миоглобина и максимума активности КК,. эставил 15 - 9=6 ч. При лечении в отделении у больного была диагносцирована осграя постинфарктная аневризма передней стенки левого желудочка, которая была подтверждена эхокардиографически Таким образом, при величине временного промежутка между...
Способ очистки полярной жидкости от электрохимически активных примесей
Номер патента: 859478
Опубликовано: 30.08.1981
Авторы: Белякова, Блюм, Божко, Жданов, Соколов, Тихонов
Метки: активных, жидкости, полярной, примесей, электрохимически
...вес.%.П р и м е р 2. у -Бутиролактон в количестве 150 мл (168 г), с содержанием электрохимически активных примесей 1,5 вес.% загружают в обогреваемую емкость, снабженную никелевыми электродами. На электроды подают напряжение 600 В, создают разрежение в установке до 15 мм рт.ст. и повышают температуру в обогреваемой емкости до температуры кипения жидкости (90 С). При этом происходит электролиз электрохимически активных примесей, содержащихся в исходной жидкости, которые переходят в соединения с большим различием в упругости пара, после чего их удаляют из жидкости с головными фракциями и кубовыми остатками. Основную фракцию продукта отбирают с выходом 96 г, т.п, приблизительно 60 от величины загрузки. Содержание электрохимически активных...
Предыдущий патент: Метиловый эфир (3е, 7е, 12е)-4, 8-диметил-11 изопропилпентадекатриен-3, 7, 12-он-14-овой кислоты, проявляющий активность ювенильного гормона, и способ его получения
Следующий патент: Сцинтилляционный детектор
Случайный патент: Способ определения границ переходной области пограничного слоя сверхзвукового потока