Жигальвай

Номер патента: 828057

Опубликовано: 07.05.1981

Авторы: Жигальвай, Звягин, Зуев, Назаров

МПК: G01N 27/60

Метки: диэлектри-ческих, качества, пленок

...высокочастотного сигналаобъясняется разрядом между щупом и подложкой,Указанный способ, принятый за прототип, 10позволяет вьявлять дефекты, вызыва 1 ощиепротекание токов утечки через диэлектрическую пленку.Однако точность оценки дефектности чевелика из-за несовершенства контакта 15щуп-пленка. Скорость процесса контроляограничена скоростью механического перемещеня гцупа(,роме того, существует возможность механических повреждений пленки перемещающимся щупом. 20Цель изобретения - повышение точностии скорости процесса контроля качества диэлектрических пленок за счет осуществления бесконтактпого контроля протекающегочерез пленку тока, о,Это достигается тем, что псоед регистрацией тока диэлектрическую пленку облучают импульсным...