Ярышевский
Датчик влажности
Номер патента: 1627962
Опубликовано: 15.02.1991
Авторы: Бутурлин, Дикевич, Заикин, Чахунашвили, Ярышевский
МПК: G01N 27/22
..., следователь мэя между дв и для и ЦлажноФормула изобретения Датчик влажности, содержащий диэлектрическую подложку и расположенные нэ ней два электрода, нэ которые нанесены влагочувствительный слой и влагопроницаемый золотой электрод поверх них, отл и а ющийся тем, что,с целью повы аления стабильности работы датчика, нэд влагопроницаемым электродом расположен слой, состоящий из того же материала, что и влагочувствительный слой, а толщина влагопроницаемого золотого электрода находится в пределах 10- 30 нм,ти. диэлектри- расположетвительный отой электоницаемым стоящий из увствительм образом,ируя через опроницаеируются на меняют его ОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТГО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР)71) Московский институт элект ники(56)...