Угревский

Номер патента: 881901

Опубликовано: 15.11.1981

Авторы: Аппель, Угревский

МПК: H01L 41/22

Метки: упрочнения

...и направляют испаряемые компоненты на поверхность упрочняемой детали 1. Осаждают по контуру упрочняемой детали 1 многослойное покрытие, 15 состоящее из отдельных тонких, в несколько микрон слоев: пьезоэлектрической пленки типа ВаТ 0, диэлектрической пленки типа СоО и полупроводниковой пленки типа Еп 5 е, хорошо Щ сцепляемых с материалом детали, и охватывающих токопроводящих контактов, например, из серебра А 9, Поляризуют пьезоэлектрическую пленку типа ВаТО в электРическом поле. Извлекают деталь из камеры, подпаивают к ее контактам электроды и подключают к усилителю.На чертеже показан вакуумный механический насос герметичного исполнения.Элементом, предопределяющим надежность устройства, является мембрана 1, на которую нанесено упрочняющее...