Тидебель

Номер патента: 825681

Опубликовано: 30.04.1981

Авторы: Волков, Корчагина, Тидебель

МПК: C25F 3/00

Метки: 825681

...спирт поливиниловый 70-90 г; аммоний двухромовокислый 3 г; хромовый ангидрид 3 г; натрий тетраборнокислый 3 г; эмульгатор ОП(ОП) 40 мл 5-ного раствора; спирт этиловый 35-50 мл; вода до 1 л.Затем в установке, снабженной копировальной рамой, обеспечивающей плотное прилегание фотошаблона к заготовке, и источником света (ртутно-кварцевым или люминесцентным) проводят операцию экспонирования.После этого полученное изображе,ние проявляют в теплой воде, химически дубят оставшийся Фоторезист в растворе 50 г/л хромового ангидрида 1 мин термически дубят при 100-110 С 1-1,5 ч,а затем проводят вытравливание.рельефа в растворе состава, г/л: катр едкий 60-80; натрий азотистокислый 70-80; натрий азотнокислый 70-80, Процесс осуществляют при 32-37 С....