Терутака

Патентнотехническая библиотека1010

Загрузка...

Номер патента: 272180

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Иностранна, Иностранны, Лимитед, Терутака

МПК: B01D 69/06

Метки: библиотека1010, патентнотехническая

...СССР(Япония)Иностранная фираепен Пьюре Хидрогеи(Япония) аур аявител Лимитед УЧЕНИЯ СВЕРХЧИСТОГО ВОДОРО ЙКА Д создают вакуум, при этом свсрхчистыйрод, дффундируощй через зигп мемботсасывают из каналов подложки,из камер с порожены мембранметалла. Однак раны,5 Предмет зобретет н предлагаетсяцевыми зигами. получения сверхчистпз камеры, содерж акрытое водородопро от,ачаоцаяся тем, чт ембран, последние ьцевыми зпгами. а чертежев плане ображенасбоку,длагаемая ячеиМембрана 1 опорную подловоими зигами 2 опирается на су 8. В каналах 4 подложки Известные яч той основой, на з водородопро акие мембран Для упр очи набжать их, н йки состоят которую на ницаемогохрупки. ния мем 6 пример кол Ячейка для да, состоягца стое тело, з мембранами, прочнения...