Телихов

Способ определения скорости газовыделения в вокуумном объеме

Загрузка...

Номер патента: 476473

Опубликовано: 05.07.1975

Авторы: Бухарин, Златкис, Макаров, Пипко, Плисковский, Савина, Телихов

МПК: G01L 21/00

Метки: вокуумном, газовыделения, объеме, скорости

...способ, по которому, дифференцируют функцию изменения давления во времени по выходному сигналу датчика давления в первый момент после полной изоляции исследуемого объема от откачиваю- щего насоса. и ловушкжени я.Высокводится насосом а.Давление в системе измеряют датчикомдавления или масс-спектрометрцческцм датчиком б, сигнал с которого поступает на измерительный блок 7, а затем - на электронный дифференццатор 8. Часть вакуумной сис- О темы объемом Г, включающая насос 5 ц датчик давления 6, изолируется от исследуемого прибора 1 (источника газовыделения) вентилем 9 с автоматизированным приводом.Измерение скорости газовыделецця производят следующим образом,Закрывают вентиль 9. При этом в первыймомент после закрытия вентиля давление...