Телеляев

Номер патента: 1504496

Опубликовано: 30.08.1989

Авторы: Ануфриенко, Геранькин, Горьков, Назаров, Телеляев

МПК: G01B 11/00

Метки: датчик, линейных, перемещений

...параллельно штрихам групп 4 и 5решетки 3,Датчик работает следующим образом,Источник 1 излучения, находящийсяв фокальной плоскости конденсора2, освещает параллельным пучком зо-ну 6 пропускающей решетки Э. Штрихигрупп 4 и 5 ориентированы перпендикулярно соответствующим направлениямизмеряемых перемещений, Б результатедифракции света на элементах 14структуры зоны 6 пропускающей дифракционной решетки 3 образуется на-.бор дифракционных порядков, которые,отражаясь и дифрагируя на элементах14 структуры дифракционной решетки8, попадают на группы 4 и 5 штриховпрозрачной решетки 3, С помощью собирающих линз 9-12 прошедшее и дифрагировавшее на штрихах групп 4 н 5решетки 3 излучение Фокусируется насветочувствительных площадках фотоприемников...