Танотаров

Номер патента: 312184

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Абраменков, Слезов, Танотаров, Фогель

МПК: G01N 13/00

Метки: диффузии, л1еталлоб, объемной, скорости

...ая подложка 1 размером30 20 Х 5 Х 0,1 мм крепится на двух молибденовыхвводах и подогревается пропусканием через нее электрического тока. Температура подложки измеряется вольфрам-рениевой термопарой. С помощью сильфонного приспособления 2 подложка может перемещаться в горизонтальном направлении и устанавливаться в правильном положении относительно испарителя титана и ионной пушки.Испаритель титана представляет собой титановый стержень 3, подогреваемый пучками трех пирсовых электронных пушек 4. Температура титанового испарителя измеряется оптическим пирометром через окошко б, а также вольфрам-рениевой термопарой, прикрепленной к титановому стержню на некотором расстоянии от места испарения. Испаритель титана отделен от остальной части...