Танасевич

Номер патента: 1254057

Опубликовано: 30.08.1986

Авторы: Зрайковский, Танасевич, Черная

МПК: C23F 1/26

Метки: молибдена, раствор, травления

...примеры пред" лагаемыя травительных растворов Таблица 1 Компоненты Пример 1 2 3 4 5 6 Азотная кислота 43,7 48,6 53,4 43,7 СульФатаммонияГексаметилентетрамин 38,4 42,6 46,9 27,0 50,0 0,23 0,3 0,37 0,1 0,5 77 85 94 72 94 40 Вода Серная кислота 20 Продолжение табл 2,лиц 4 ВЕбильное вьщеленизота сло Использовани раствора(пример полное вытравли кернабез выделВ табл. 3 пр ные данные травл вестном и предл 3 Обильное вццазота окисл о Изобретение относится к химической обработке, в частности к травлению вольФрамовых иэделий и удалению из них молибдена,Цель изобретения - улучшение условий травления при снижении выделенияокислов азота и сохранении высокого качества травления. 1 О В табп. 2 приведены результаты травления на основе...