Сушинцев

Номер патента: 811364

Опубликовано: 07.03.1981

Авторы: Артемьев, Дюков, Коломейцев, Сушинцев

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскоп, растровый, электронный

...подключен на вход яркостной модуляции блока 8, Два генератора сигналов 7 п 8 подключены соответственно к модулятору интенсивности зонда 9 З 0 и объекту 4.811364ПО Поиск аказ 347/354 Изд.Ти праж 784 Подписне и. Харак. фил, пред, Пате Устройство работает следующим обраЭлектронный зонд, формируемый в коллонне 1, отклоняется с помощью катушек 2 и генераторов развертки блока 3 так, что он выписывает на изучаемой поверхности объекта 4 растр.Эмиттирова нные вторичные электроны собираются детектором 5 и подвергаются энергетическому анализу так, что сигнал с выхода линейно зависит от потенциала эмиттирую щей точки объекта. Когда на объект подан сигнал (синусоидальное переменное напряжение) от генератора 8 с частотой ь то на выходе...