Страшкин

Номер патента: 1763873

Опубликовано: 23.09.1992

Авторы: Власов, Койфман, Луковкин, Муршудли, Страшкин, Хван

МПК: G01B 7/06

Метки: геометрических, параметров, пластин, полупроводниковых

...ИЛИ 7 на счетный вычитающий вход "-1" счетчика управления приводом 12 сопровождается вычитанием единиц счета из числа, содержащегося в нем, В результате этого порядок следования импульсов, поступающих на вход блока управления приводом 13, меняется на обратный, и шаговый привод 3 движется в противоположную сторону, удаляя контактный зонд 2 от предметного стола 1, В счетчике сигналов калибровки 6, на вход которого импульсы уже не поступают, сохраняется значение калибровочного числа, численно равного числу шагов перемещения контактного зонда 2 из исходного положения до касания им поверхности предметного стола 1. В момент обнуления счетчика управления приводом12, соответствующего возврату контактного зонда 2 в исходное положение, с выхода...