Штет

Номер патента: 391286

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Багров, Кост, Штет, Янов

МПК: F04B 37/08

Метки: сверхвысоковакуумная

...7 используют также и для перекрытия входа откачного тракта 18, используемого при регенерации криосорбционного насоса 5, Камера 2 оборудована манометром 14 и датчиком массспсктрометра 15, а криосорбцион ный насос 5 оснащен нагревателем 1 б длявысокотемпературной регенерации сорбснта.Лктивация сор бента осуществляется через клапан 17.В процессе активации отверстие на кожу хс б перекрывается клапаном 7, а откачкакамер 1 и 2 насосами предварительного разрежения ведется через клапан 11 (клапан 12 при этом открыт). При давлении в рабочем объеме - 10 в " тор камера 2 отсекается от 0 межкамерпого объема клапаном 12. Клапан 7391286 Составитель Н. Юшин Редактор Е. Кравцова Техред Л. БогдановаКорректор Л. Царькова раж 678 3211,1 О Изд. Ме 841...