Шпилёв
Способ изготовления металлополупроводниковых узлов
Номер патента: 1743095
Опубликовано: 20.12.2005
Авторы: Михайлов, Шпилёв
МПК: B23K 26/00, H01L 21/20
Метки: металлополупроводниковых, узлов
Способ изготовления металлополупроводниковых узлов, при котором металлические детали устанавливают на полупроводниковой пластине и приваривают к ней, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения технологии, в металлических деталях предварительно выполняют сквозные отверстия, оси которых располагают на расстоянии большем диаметра отверстий, а сварку осуществляют лазерным лучом, который вводят в каждое из упомянутых отверстий, оплавляя пластину, стенку отверстия и соответствующую деталь.