Шпилёв

Способ изготовления металлополупроводниковых узлов

Загрузка...

Номер патента: 1743095

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Михайлов, Шпилёв

МПК: B23K 26/00, H01L 21/20

Метки: металлополупроводниковых, узлов

Способ изготовления металлополупроводниковых узлов, при котором металлические детали устанавливают на полупроводниковой пластине и приваривают к ней, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения технологии, в металлических деталях предварительно выполняют сквозные отверстия, оси которых располагают на расстоянии большем диаметра отверстий, а сварку осуществляют лазерным лучом, который вводят в каждое из упомянутых отверстий, оплавляя пластину, стенку отверстия и соответствующую деталь.