Шаталф
Сканирующее устройство
Номер патента: 378726
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: G01J 3/06
Метки: сканирующее
...щели выполнено в виде сильфона со штоком, расположенных внутри вакуумной камеры, управляемого электропневмоклапаном, расположенным вне вакуумной камеры; кроме того, с целью повышения точности установки величины перемещения приемной щели детектора, шток сильфона снабжен регулирующей направляющей втулкой.На чертеже схематически представлено предлагаемое устройство,Устройство состоит из сильфона 1, управляемого трехходовым электропневмоклапаном 2, расположенным вне вакуумной камеры 3 и попеременно сообщающим рабочий объем сильфона через штуцер 4 с вакуумом или атмосферой. К мембране сильфона 5 жестко прикреплен шток 6, соединенный с механизмом привода 7, аналитической щели детектора 8. Шток имеет направляющую, регулирующую втулку 9,...