Шабло

Номер патента: 985715

Опубликовано: 30.12.1982

Авторы: Глухов, Дмитренко, Шабло

МПК: G01K 7/16

Метки: сопротивления, термометр

...участвующиев соиспарении, подбирают такимобразом, чтобы они не образовывалидруг с другом твердых растворов 15или химических соединений. Металли"ческой составляющей могут быть,например, 5 ц, РЬ, Яп, А 9 и Ац. В качестве полупроводниковой компонентымогут быть, например, Ое и . Температура подложки при осаждении составляет не менее 2/3 температурыплавления металла (по шкале Кельвина),При напылении на подложку с такойтемпературой металл собирается в 25гранулы.После осаждения производится кристализационный отжиг, что необходимодля стабилизации свойств пленки, Врезультате получают гранулированную 3 Опленку с островками металла, окруженными поликристаллическим полупроводником. Проводимость в такой системеосуществляется по металлическим...