Размустов

Номер патента: 1456392

Опубликовано: 07.02.1989

Авторы: Размустов, Удалова

МПК: C04B 41/88

Метки: диэлектрических, малогабаритных, металлизации, поверхностей, торцовых

...пинцетана расстоянии не менее 0,5 мм другот. друга помещают керамические втулкир 3 х ф 1,3 х 0,6 мм из массы Т.Далее сушат при комнатной температуре 20-25 С в течение 1-3 ч в зависимоэ 145639 сти от толщины нанесенного слоя. Обра" зовавшаяся пленка полистирола защищает цилиндрические поверхности втулок от подпыления при металлизации. Далее подложку с экранированными втулками подвергают химической очистке в парах иэопропилового спирта и помещают в вакуумную установку. Методом магнетронного распыления наносят слои МоСц (0,1+1) мкм или И-Сп (0,1+1) мкм, или Т-Сп (0,1+1) мкм. Затем осуществляют гальваническое наращивание эа щитного слоя Яп-В 1 или Ац на экранированные пленкой полистирола детали. По 15 : окончании металлиэации подложки с...