Пудонин

Номер патента: 1021246

Опубликовано: 23.12.1983

Авторы: Герасимова, Горбачева, Ионов, Пудонин, Сагитов

МПК: G01N 21/00

Метки: коэффициентов, отражения

...быть использован кварц, стекло К, ЛК, Фтористый магний и др). , на поверхность которой методом ионно-плазменного высокочастотного распыления в вакууме при разрежении не менее 10 мм рт.ст наносится пленка.П р и м е р, Пластина из поликристаллического карбида кремния диаметром 60 мм и толщиной 5 ммприклеивалась к медному электроду иустанавливалась в вакуумную камеру.При достижении давления 10-мм рт.ст,в камеру напускался аргон до давления в камере 1 10 Змм рт.ст. Эажигался тлеющий разряд ОР40 В,Э м 40 А, После этого на мишеньподавалось ВЧ-напряжение (ш 1356 МГцмощность 1,5 кВт ). Скорость распы- )0 ления мишени 30 А/мин, Процессосаждения стабилен и воспроизводим.Толщина пленок измерялась на лазерном эллипсометре ЛЭФ-П с углом падения 70 и...