Покаров

Номер патента: 1455334

Опубликовано: 30.01.1989

Авторы: Бретош, Гофман, Гусельщиков, Десятник, Дубовский, Покаров, Штрейс

МПК: G03F 7/00

Метки: изображения, металлической, подложке, рельефного

...пульверизаторомкопировальныйслой на основе хинондиазидов (ФПо051 Т), сушат при 25 С в течение 7 мин.Перед экспонированием материал подвергают выдержке,при 30 С в течениео12 ч, экспонируют 11 мин, проявляютв слабощелочном водном растворе (рН7,5-9,0) азотной кислоты в течение3 мин и травят 4 ч.П р и м е р 3. Латунную подложкуобрабатывают 57.-ным раствором смесигидроксида натрия и гидроксида калияв этаноле, затем 57.-ным растворомэпоксидной смолы ЭДв ацетоне, наносят на нее восьмикратно пульверизатором копировальный слой на основециклокаучука (ФН, ТУ 6-14-681-78),сушат при 35 С в течение 5 мин. Полученный материал экспонируют 6. мин,затем проявляют в уайт-спирите в течение 2 мин и травят 3 ч. При этомперед экспонированием необходима...