Плглцьэ

Номер патента: 174727

Опубликовано: 01.01.1965

Авторы: Плглцьэ, Чесноков

МПК: H01J 1/304, H01J 9/02

Метки: автоэлектронной, пленочной, системы, электродной

...изготовленияэлектродной системы, разделенной изолирую.щим зазором. Известен способ ного пленочного ка тродом, расположе от края катодной п между катодом и образуется щелью, лучом. готовления автоэлектронда с вытягивающим элекым на малом расстоянии енки. Изолирующий зазор затягивающим электродом прорезаемой электронным Предмет изобретен Способ изготовления автоэлектр ночной электродной системы, сос катода и вытягивающего электр напыления на диэлектрическую О проводящих пленок этих электрод юиийся тем, что, с целью упроще логии изготовления электродной си деленной изолирующим зазором,пыляют на подложку катода и вы 5 го электрода одновременно под ост из точечного источника, располо стороны вытягивающего электродаый способ опленки...