Планкина
Фотоэлектрический способ определения коэффициента оптического поглощения полупроводниковых образцов
Номер патента: 2001390
Опубликовано: 15.10.1993
Авторы: Карпович, Планкина
МПК: G01N 21/84, H01L 21/66
Метки: коэффициента, образцов, оптического, поглощения, полупроводниковых, фотоэлектрический
...оптического поглощения полупроводниковых материалов, заключающемся в освещении плоскопараллельнсго образца мснокроматическим светок, измерении спектральной зависимости относительной фсточувствительности образца и опред;-;ленни коэффициента по лсщения а и;, срд(ровэнной на единицу в максимуме спекральной зависимссти относиельнсй фсточувствительнссти 5 ф ( 1. ), в котором, согласно иэобретекно- вс-первых, производят изменение фотоответа г режиме поперечной фстопроводимсг,и (электроды нанесены на обе боковые грани образца),- вс-вторых, фотоответ .мелю о г всего обьема образца (элеггсды нассят нэ всю площадь боковыхэей образца),- в третьих, обра.г ц дополнительно освещают излученилиной вол ы Л. о, где л.; - дл а волны, сос 1...