Петращень

Устройство прецизионного линейного перемещения

Загрузка...

Номер патента: 1337563

Опубликовано: 15.09.1987

Авторы: Крылова, Петращень

МПК: F15B 11/12

Метки: линейного, перемещения, прецизионного

...этом равен периоду кристаллической решетки (- 0,2 нм), а по оптическому -- длине световой волны эталонного лазера. Отношение числа полос по двум каналам дает значение периода решетки, выраженное в длинах световой волны эталонного источника, т.е. в абсолютных единицах, метрах. Практическая реализация этого принципа ставит качественно новые требования к механическим элементам конструкции, в частности для 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 достижения теоретически возможной точности требуется линейное поступательное перемещение анализатора в диапазоне несколько сотен микрон с порогом реагирования не хуже 10 з нм, т.е. отношение диапазона перемещения к чувствительности и стабильности подачи (динамический диапазон подачи) должно составлять не...