Осиккин
Устройство для контроля толщины пленок
Номер патента: 288307
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Астахов, Лыткаринский, Ойленко, Осиккин, Хом, Чеканов
МПК: G01B 11/06
...поочередного пропускання выходящих из монохроматора пучков света, фотоприемник о и измерительный 25 прибор 6. Устройство также снабжено двумя бипризмамн 7 и 8, из которых первая - светоделительная расположена после выходной щели монохроматора, а Вторая - перед фотоприемником, и цилиндрической линзой 9, рас положе;Ион в ходе световьх гуче между светоделительной прпзмон 7 и Дискох 1.Световой поток от источш 1 ка света, пройдя через контролируему 10 пленку 10, няпраВляе.ся оптической системой на входную щель 11 моюхроматора. Бипризма 7 разделяет вышедшей нз Выходной щелн 12 ыонохроматора спектр 2,1 ьныЙ интерВЯ;1 на двя у 31(нх хОнохрохЯтнчсских пучка с ве:ьма малой разностью длш вол л,1 и 1,2, симметрично расположенных относптельно...