Нтмо
Способ изготовления растров
Номер патента: 343246
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Коновалов, Нтмо, Яцевич
МПК: G03F 5/00
Метки: растров
...к стеклянной подложке.Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.Стеклянную подложку дополнительно с мат рицей обрабатывают антиадгезионным веществом (например путем гидрофобпзирования в парах диметилдиэтоксисилана), отделяют полимеризованный растр от матрицы и подложки. Затем к диафрагмированному раст ру с помощью микроскопа подбирается стеклянная подложка необходимой толщины (например посредством замера и последующего снятия определенного слоя механической обработкой); чтобы изображения объекта, поме щенного в запроектированные проходящий источник света и находящегося на расстоянии будущих съемок, размещались в вершинной плоскости поверхности. После этого растр склеивается с подобранной стеклянной под ложкой (например той же...