Нимерницкая
Способ диффузионной сварки материалов
Номер патента: 1454614
Опубликовано: 30.01.1989
Авторы: Антонов, Браун, Нимерницкая, Приходченко, Шлифер
МПК: B23K 20/14
Метки: диффузионной, сварки
...р. Сваривали монокристаллический кремний толщиной 0,2 мм. и диаметром 8 мм с исходной окиснойпленкой толщиной 40 А с трубкой изстекла "Пирекс" длиной 1 О мм, диаметром наружным 8 мм и внутренним6 мм. Изобретен давлением с к диффузионн использовано технической, ие относи по ог ево ническои иленности.Пель изо ретения - повьппение про о соединения,ществляк 1 т следунщим об ности свари .Способ о разо Свариваемые детали из полупровоика или металла и стекла нагреваю варки, прикладывак 1 т напряжение для соока диффузии между ерхностями, сдавлики в течение времени олупроводнике или пленки толщиной 100 температурыним постоянноания ионного 1 а сл оединяемыми по сварки Т = постоянное3,0 МП вант и образо ния наокисной ета(61) (21) (22) (46) (71)...